[实用新型]一种拆装式探针卡

说明书

本实用新型公开了一种拆装式探针卡，包括卡盘和方形探针卡本体，所述卡盘的一侧开设有若干沉孔，所述卡盘的一侧中间位置开设有第一方形孔，所述方形探针卡本体位于第一方形孔内，所述方形探针卡本体的两侧均设有夹板，所述夹板与方形探针卡本体相接触，两个所述夹板相靠近的一侧均设有两个侧板，且相邻的两个所述侧板位于方形探针卡本体的两侧，两个所述夹板相远离的一侧与第一方形孔的内壁通过若干第一弹簧连接，所述第一方形孔的两侧内壁对称开设有若干第一滑槽，所述夹板的两侧固定连接有第一滑块。本实用新型的一种拆装式探针卡，可以简单便捷的完成方形探针卡本体和卡盘之间的拆装，提高了安装效率。

技术领域

本实用新型涉及探针卡技术领域，特别涉及一种拆装式探针卡。

背景技术

探针卡是晶圆测试中被测芯片和测试机之间的接口，主要应用于芯片分片封装前对芯片电学性能进行初步测量，并筛选出不良芯片后，再进行之后的封装工程，探针卡的使用原理是将探针卡上的探针与芯片上的焊垫(pad)或凸块直接接触，导出芯片讯号。再配合周边测试仪器与软件控制达到自动化量测晶圆。它对前期测试的开发及后期量产测试的良率保证都非常重要，而方形探针卡与卡盘之间的安装步骤较为繁琐，不能简单便捷的完成方形探针卡与卡盘之间的安装。

实用新型内容

本实用新型的主要目的在于提供一种拆装式探针卡，可以有效解决背景技术中的问题。

为实现上述目的，本实用新型采取的技术方案为：

一种拆装式探针卡，包括卡盘和方形探针卡本体，所述卡盘的一侧开设有若干沉孔，所述卡盘的一侧中间位置开设有第一方形孔，所述方形探针卡本体位于第一方形孔内，所述方形探针卡本体的两侧均设有夹板，所述夹板与方形探针卡本体相接触，两个所述夹板相靠近的一侧均设有两个侧板，且相邻的两个所述侧板位于方形探针卡本体的两侧，两个所述夹板相远离的一侧与第一方形孔的内壁通过若干第一弹簧连接，所述第一方形孔的两侧内壁对称开设有若干第一滑槽，所述夹板的两侧固定连接有第一滑块，所述第一滑块位于第一滑槽内，所述第一滑槽与第一滑块之间设有限位机构。

优选的，所述限位机构包括开设于第一滑块一侧的通孔，所述通孔内设有限位柱，所述第一滑槽的一侧内壁开设有第二滑槽和卡槽，所述第一滑槽远离第二滑槽的一侧内壁开设有第二方形孔，所述限位柱的一端延伸至第二滑槽内，所述限位柱的另一端延伸至第二方形孔内，所述夹板的一侧设有连接杆，且所述限位柱的一端与连接杆固定连接，所述限位柱与第一滑块之间设有弹性机构。

优选的，所述弹性机构包括开设于通孔两侧内壁的第三滑槽，所述第三滑槽内设有第二滑块，所述第二滑块与限位柱固定连接，所述第二滑块靠近第二滑槽的一侧与第三滑槽的内壁通过第二弹簧连接。

优选的，所述第一方形孔的两侧内壁固定连接有第一橡胶弹性层，且所述第一橡胶弹性层与方形探针卡本体相接触，相邻两个所述侧板相靠近的一侧均固定连接有第二橡胶弹性层，且所述第二橡胶弹性层与方形探针卡本体相接触。

优选的，所述沉孔设置的数目为四个。

一种拆装式探针卡的限位机构，包括开设于第一滑块一侧的通孔，所述通孔内设有限位柱，所述第一滑槽的一侧内壁开设有第二滑槽和卡槽，所述第一滑槽远离第二滑槽的一侧内壁开设有第二方形孔，所述限位柱的一端延伸至第二滑槽内，所述限位柱的另一端延伸至第二方形孔内，所述夹板的一侧设有连接杆，且所述限位柱的一端与连接杆固定连接，所述限位柱与第一滑块之间设有弹性机构。

一种拆装式探针卡的限位机构的弹性机构，包括开设于通孔两侧内壁的第三滑槽，所述第三滑槽内设有第二滑块，所述第二滑块与限位柱固定连接，所述第二滑块靠近第二滑槽的一侧与第三滑槽的内壁通过第二弹簧连接。

与现有技术相比，本实用新型具有如下有益效果：通过设置卡盘、沉孔、第一方形孔、方形探针卡本体、夹板、侧板、第一弹簧、第一滑槽、第一滑块和限位机构的配合作用，可以简单便捷的完成方形探针卡本体和卡盘之间的拆装，提高了安装效率。