[实用新型]刻蚀上下料装置

权利要求书

1.一种刻蚀上下料装置，其整体呈U型对称结构的生产线布局，包括U型结构的机架(1)，机架(1)两侧壁内对称设置有花篮上料位(2)，其特征在于：所述机架(1)中部安装有转向皮带机构(7)，位于转向皮带机构(7)两侧的机架(1)上对称安装有中间皮带机构(6)，两个中间皮带机构(6)外侧的机架(1)上安装有伸缩皮带机构(4)，两个伸缩皮带机构(4)外侧与两个花篮上料位(2)之间分别安装有升降机构(3)，两个升降机构(3)分列于机架(1)的两个拐角处；所述中间皮带机构(6)两侧安装有缓存机构(5)；

所述转向皮带机构(7)的结构为：包括多组并列的硅片输送带(71)，多组硅片输送带(71)端头共同安装有转向输送带(72)，转向输送带(72)外侧沿着长度方向安装有限位机构(73)；所述转向输送带(72)与中间皮带机构(6)传动方向一致并相互衔接，硅片输送带(71)的传动方向与转向输送带(72)的传动方向相互垂直。

2.如权利要求1所述的刻蚀上下料装置，其特征在于：所述硅片输送带(71)包括首尾相衔接的多组输送带，每组输送带由对应的输送电机(711)带动传动。

3.如权利要求1所述的刻蚀上下料装置，其特征在于：所述转向输送带(72)的结构为：包括安装于机架(1)上的升降电机(721)，升降电机(721)的输出端朝上并在端部安装有U型结构的升降座(723)，升降座(723)上部开口处的两侧分别固装有长支板(724)，两个长支板(724)底部与机架(1)之间安装有导柱(722)；两个长支板(724)上沿着长度方向依次安装有多组小传动皮带(726)，单组小传动皮带(726)均由对应的小传动电机(725)驱动。

4.如权利要求1所述的刻蚀上下料装置，其特征在于：所述花篮上料位(2)包括上下间隔平行设置的两组上料输送带(22)，两组上料输送带(22)的传动方向相反，单组上料输送带(22)均由对应的上料电机(21)驱动。

5.如权利要求4所述的刻蚀上下料装置，其特征在于：一组所述上料输送带(22)用于装满硅片(9)的花篮(8)的上料，另一组上料输送带(22)用于空的花篮(8)的下料。

6.如权利要求1所述的刻蚀上下料装置，其特征在于：所述位于花篮上料位(2)端头外部的升降机构(3)的结构为：包括与机架(1)固装的升降模组一(31)，升降模组一(31)上安装有沿其升降的升降块(32)，升降块(32)下边缘固装有与其外侧面垂直的支撑块(35)，支撑块(35)上安装有升降输送带(36)；位于支撑块(35)上方的升降块(32)上安装有小电机(33)，小电机(33)输出端经小皮带传动机构(34)带动升降输送带(36)传动；所述升降块(32)上边缘向外延伸并在端部安装有压料气缸(37)，压料气缸(37)输出端向下并在端部安装有压料板(38)，所述压料板(38)位于升降输送带(36)正上方。

7.如权利要求1所述的刻蚀上下料装置，其特征在于：所述缓存机构(5)的结构为：包括固装于机架(1)的升降模组二(51)，升降模组二(51)上安装有沿其升降的支座(52)，支座(52)顶面的两边缘对称固装有缓存块(53)，两个缓存块(53)相对的内侧面上均开有对应的卡槽(531)，两个缓存块(53)分列于中间皮带机构(6)的两侧。