[实用新型]半导体工业的供液系统

说明书

一种半导体工业的供液系统，包括：前端三通阀，输入端用于连接前段液体供应管路；主缓冲容器，输入端连接所述前端三通阀的第一输出端；辅缓冲容器，输入端连接所述前端三通阀的第二输出端；后端三通阀，第一输入端连接所述主缓冲容器的输出端，第二输入端连接所述辅缓冲容器的输出端；使用端控制阀；第一主液体传感器，设置于所述主缓冲容器的顶部液位线下边缘；第二主液体传感器，设置于所述主缓冲容器的底部液位线上边缘；第一辅液体传感器，设置于所述辅缓冲容器的顶部液位线下边缘；第二辅液体传感器，设置于所述辅缓冲容器的底部液位线上边缘。所述半导体工业的供液系统在保证供液不停机的情况下，提高系统安全保障作用。

技术领域

本实用新型涉及半导体制造领域，尤其涉及一种半导体工业的供液系统。

背景技术

目前，半导体行业的晶片湿法处理设备都涉及到化学液的供给，而随着设备的自动化程度和功能越来越完善，相应的化学液供给系统也变得越来越庞大和复杂。同时，在半导体制造装置的药液使用工序中，例如为了将光刻胶等药液按预定量涂布到半导体晶片上，均需要相应的供液系统能够将定量药液供给特定的使用位置和场合。

在药液供给系统中，许多药液本身通常已经十分昂贵，而相应的供液装置不仅昂贵且结构复杂。因此，如何保证供液系统精确地提供液体而不浪费药液，同时避免液体对其它装置的损害，成为业界共同关心的问题。

实用新型内容

本实用新型解决的问题是，提供一种化学液供给系统，以实现更好的供液功能。

为解决上述问题，本实用新型提供了一种半导体工业的供液系统，包括：前端三通阀，所述前端三通阀的输入端用于连接前段液体供应管路；主缓冲容器，所述主缓冲容器的输入端连接所述前端三通阀的第一输出端；辅缓冲容器，所述辅缓冲容器的输入端连接所述前端三通阀的第二输出端；后端三通阀，所述后端三通阀的第一输入端连接所述主缓冲容器的输出端，所述后端三通阀的第二输入端连接所述辅缓冲容器的输出端；使用端控制阀，所述使用端控制阀的输入端连接所述后端三通阀的输出端；第一主液体传感器，设置于所述主缓冲容器的顶部液位线下边缘；第二主液体传感器，设置于所述主缓冲容器的底部液位线上边缘；第一辅液体传感器，设置于所述辅缓冲容器的顶部液位线下边缘；第二辅液体传感器，设置于所述辅缓冲容器的底部液位线上边缘。

为解决上述问题，本实用新型还提供了另一种半导体工业的供液系统，包括：前端三通阀，所述前端三通阀的输入端用于连接前段液体供应管路；主缓冲容器，所述主缓冲容器的输入端连接所述前端三通阀的第一输出端；辅缓冲容器，所述辅缓冲容器的输入端连接所述前端三通阀的第二输出端；主后端控制阀，所述主后端控制阀的输入端连接所述主缓冲容器的输出端；辅后端控制阀，所述辅后端控制阀的输入端连接所述辅缓冲容器的输出端；使用端控制阀，所述使用端控制阀的输入端连接所述主后端控制阀的输出端和所述辅后端控制阀的输出端；第一主液体传感器，设置于所述主缓冲容器的顶部液位线下边缘；第二主液体传感器，设置于所述主缓冲容器的底部液位线上边缘；第一辅液体传感器，设置于所述辅缓冲容器的顶部液位线下边缘；第二辅液体传感器，设置于所述辅缓冲容器的底部液位线上边缘。

为解决上述问题，本实用新型还提供了另一种半导体工业的供液系统，包括：主前端控制阀，所述主前端控制阀的输入端用于连接第一前段液体供应管路；辅前端控制阀，所述辅前端控制阀的输入端用于连接第二前段液体供应管路；主缓冲容器，所述主缓冲容器的输入端连接所述主前端控制阀的输出端；辅缓冲容器，所述辅缓冲容器的输入端连接所述辅前端控制阀的输出端；后端三通阀，所述后端三通阀的第一输入端连接所述主缓冲容器的输出端，所述后端三通阀的第二输入端连接所述辅缓冲容器的输出端；使用端控制阀，所述使用端控制阀的输入端连接所述后端三通阀的输出端；第一主液体传感器，设置于所述主缓冲容器的顶部液位线下边缘；第二主液体传感器，设置于所述主缓冲容器的底部液位线上边缘；第一辅液体传感器，设置于所述辅缓冲容器的顶部液位线下边缘；第二辅液体传感器，设置于所述辅缓冲容器的底部液位线上边缘。