[实用新型]自动插片机横移取片装置

权利要求书

1.自动插片机横移取片装置，其特征在于：包括至少一夹紧装置(1)、至少一多轴伺服装置(2)及至少一吸取装置(3)，所述至少一夹紧装置(1)安装在所述多轴伺服装置(2)上用于夹紧硅片，所述至少一吸取装置(3)安装在所述多轴伺服装置(2)的至少一运动端，以用于吸取硅片。

2.如权利要求1所述的自动插片机横移取片装置，其特征在于：所述至少一夹紧装置(1)包括夹紧气缸(101)，在所述夹紧气缸(101)具有至少一活塞(102)，所述至少一活塞(102)与固定板(103)的一端连接，所述固定板(103)上固接至少一纠偏板安装块(104)，在所述纠偏板安装块(104)上固接纠偏板(105)，在所述纠偏板(105)的一侧还开设至少一梳齿(1051)。

3.如权利要求1所述的自动插片机横移取片装置，其特征在于：所述至少一多轴伺服装置(2)的具体结构如下：

包括第一伺服安装板(202)，在所述第一伺服安装板(202)上安装至少一第一直线模组，在所述至少一第一直线模组的运动端连接第二伺服安装板(206)，第二直线模组安装在所述第二伺服安装板(206)上，所述第一直线模组与所述第二直线模组中运动端的运动方向不同。

4.如权利要求1所述的自动插片机横移取片装置，其特征在于：所述至少一吸取装置(3)的具体结构如下：

包括一真空发射器(301)、第六直线模组、侧封闭板(305)、吸盘安装板(306)及至少一吸盘组件，所述真空发射器(301)固定在所述第六直线模组的固定端，所述第六直线模组的运动端通过吸盘安装板(306)安装至少一吸盘组件。

5.如权利要求4所述的自动插片机横移取片装置，其特征在于：所述至少一吸盘组件包括嵌接于吸盘安装板(306)的若干吸盘(307)，所述若干吸盘(307)均由至少一安装杆(309)贯穿，所述至少一安装杆(309)的一端与侧封闭板(305)固接，所述至少一安装杆(309)的另一端连接通气盖板(310)，所述通气盖板(310)开设至少一孔用于与真空发射器(301)的真空口连通。

6.如权利要求5所述的自动插片机横移取片装置，其特征在于：所述吸盘(307)上开设至少一杆安装孔(3071)、气道孔(3072)、至少一气槽(3075)及至少一通气孔(3074)，所述至少一通气孔(3074)开设在所述至少一气槽(3075)中，所述至少一通气孔(3074)通过至少一通孔与所述气道孔(3072)连通。