[实用新型]自动插片机横移取片装置

说明书

本实用新型涉及一种自动插片机横移取片装置，包括至少一夹紧装置、至少一多轴伺服装置及至少一吸取装置，所述至少一夹紧装置安装在所述多轴伺服装置上用于夹紧硅片，所述至少一吸取装置安装在所述多轴伺服装置的至少一运动端，以用于吸取硅片。本实用新型解决了传统人工搬运的方式，具有自动化程度高的有点，省时省力，不仅降低了工人的劳动强度，还提高了企业硅片输送的效率。

技术领域

本实用新型涉及领域，特别是涉及自动插片机横移取片装置。

背景技术

目前，在太阳能电池扩散制程工艺中，石英舟作为硅片的承载件，用于在石英炉管内进行扩散工艺，其耐受温度可达800℃以上。在该工艺之前需要人工搬运石英舟至扩散炉，工艺完成后再由人工搬出扩散炉，然后再将石英舟上的硅片从石英舟转移至花篮内流转到下一道制程，这种人工转移硅片的方式劳动强度大，费时费力，容易影响硅片的质量，并对石英舟造成污染。

实用新型内容

针对上述现有技术的缺点，本实用新型的目的是提供一种自动插片机横移取片装置。相对于现有技术来说，本实用新型可以实现自动取片，具有自动化程度高的有点，既不会对石英舟造成污染，也不会影响硅片的质量。

为实现上述目的，本实用新型的技术方案如下：

自动插片机横移取片装置，包括至少一夹紧装置、至少一多轴伺服装置及至少一吸取装置，所述至少一夹紧装置安装在所述多轴伺服装置上用于夹紧硅片，所述至少一吸取装置安装在所述多轴伺服装置的至少一运动端，以用于吸取硅片。

其进一步技术方案在于：

所述至少一夹紧装置包括夹紧气缸，在所述夹紧气缸具有至少一活塞，所述至少一活塞与固定板的一端连接，所述固定板上固接至少一纠偏板安装块，在所述纠偏板安装块上固接纠偏板，在所述纠偏板的一侧还开设至少一梳齿；

所述至少一多轴伺服装置的具体结构如下：

包括第一伺服安装板，在所述第一伺服安装板上安装至少一第一直线模组，在所述至少一第一直线模组的运动端连接第二伺服安装板，第二直线模组安装在所述第二伺服安装板上，所述第一直线模组与所述第二直线模组中运动端的运动方向不同；

所述至少一吸取装置的具体结构如下：

包括一真空发射器、第六直线模组、侧封闭板、吸盘安装板及至少一吸盘组件，所述真空发射器固定在所述第六直线模组的固定端，所述第六直线模组的运动端通过吸盘安装板安装至少一吸盘组件；

所述至少一吸盘组件包括嵌接于吸盘安装板的若干吸盘，所述若干吸盘均由至少一安装杆贯穿，所述至少一安装杆的一端与侧封闭板固接，所述至少一安装杆的另一端连接通气盖板，所述通气盖板开设至少一孔用于与真空发射器的真空口连通；

所述吸盘上开设至少一杆安装孔、气道孔、至少一气槽及至少通气孔，所述至少一通气孔开设在所述至少一气槽中，所述至少一通气孔通过至少一通孔与所述气道孔连通。

与现有技术相比，本实用新型的有益技术效果如下

(一)夹紧装置、吸取装置及多轴伺服装置的设置使得本实用新型可不停机将硅片从石英舟向花篮转移，由于石英舟中硅片间距是花篮的一半，自动化的转移避免人工操作将硅片破坏，大大提高了输送效率，吸取装置中吸片的布置便于从硅片之间的间隙插入并将硅片吸附，避免损伤硅片。

(二)多轴伺服装置及各直线模组的布置实现了本实用新型X、Y、Z轴的交互运动，具有运动精度高，位置精确的有点。

(三)本实用新型解决了传统人工搬运的方式，具有自动化程度高的有点，省时省力，不仅降低了工人的劳动强度，还提高了企业硅片输送的效率。

附图说明

图1示出了本实用新型实施例一种自动插片机横移取片装置的轴侧图。