[实用新型]一种晶圆自动上下料系统

权利要求书

1.一种晶圆自动上下料系统，其特征在于：包括升降机构、固定架、料盘、滑动轴、夹取机构和搭载台，所述固定架安装于所述升降机构的输出端，所述料盘放置于所述固定架上，所述固定架设置有出料口，所述搭载台设置于所述出料口的前方，所述搭载台设置有与晶圆相匹配的限位架，所述夹取机构沿所述滑动轴在所述出料口与所述限位架之间往复水平移动。

2.根据权利要求1所述的晶圆自动上下料系统，其特征在于：所述滑动轴设置于所述搭载台的一侧，且所述滑动轴的一端靠近所述出料口设置。

3.根据权利要求1所述的晶圆自动上下料系统，其特征在于：所述夹取机构包括滑动件、驱动件和夹取件，所述滑动件滑动安装于所述滑动轴上，所述驱动件安装于所述滑动件上，所述夹取件安装于所述驱动件的输出端。

4.根据权利要求3所述的晶圆自动上下料系统，其特征在于：所述限位架包括环形底板和环形面板，所述环形底板和所述环形面板之间留有可供晶圆通过的间隙。

5.根据权利要求4所述的晶圆自动上下料系统，其特征在于：所述环形面板在所述夹取机构的移动方向上设置有两个可供所述夹取件通过的缺口，所述环形底板在所述缺口的对应位置设置有凹陷部。

6.根据权利要求1所述的晶圆自动上下料系统，其特征在于：还包括固定板，所述升降机构固定于所述固定板上，所述固定架位于所述固定板上方。

7.根据权利要求1所述的晶圆自动上下料系统，其特征在于：还包括第一传感器，所述第一传感器贯穿安装于所述固定架底部，用于监测所述固定架是否装载有所述料盘。

8.根据权利要求6所述的晶圆自动上下料系统，其特征在于：还包括第二传感器，所述第二传感器通过支撑杆安装于所述固定板上，用于监测所述料盘中是否装载有晶圆。

9.根据权利要求1所述的晶圆自动上下料系统，其特征在于：还包括第三传感器，所述第三传感器安装于所述固定架底部且位于所述出料口边缘，用于监测晶圆是否突出料盘。

10.根据权利要求3所述的晶圆自动上下料系统，其特征在于：还包括第四传感器，所述第四传感器安装于所述夹取件，用于监测所述夹取件是否夹取到晶圆。