[实用新型]一种电子级超纯氨水的吸收装置

权利要求书

1.一种电子级超纯氨水的吸收装置，包括超纯氨气进气管（1）、超纯水进水管（2）、吸收塔、出料管（7），其特征是，所述吸收塔为填料塔，吸收塔包括位于上部的塔体（3）与位于下部的塔釜（4），塔体内部包括从上至下依次设置的分布器（3-1）、第一填料（3-2）、第二填料（3-3），塔釜底部连接有一循环管（5）且循环管（5）的另一端与分布器（3-1）上方的塔体（3）侧壁相连，将循环管（5）与塔釜（4）底部连接的一端设为循环管下端，将循环管（5）与分布器（3-1）上方的塔体侧壁连接的一端设为循环管上端，循环管（5）从下端到上端依次串联有隔膜泵（5-1）、过滤单元（5-2）、检测单元（5-3）且各部件进、出料的两端与循环管（5）相连，检测单元（5-3）与循环管上端之间的循环管（5）上固定连接有出料管（7），所述的超纯氨气进气管（1）与分布器上部的塔体侧壁固定连接，超纯水进水管（2）与分布器上方的塔体侧壁固定连接，塔体顶部固定连接有尾气处理管（6），吸收塔为逆流操作。

2.根据权利要求1所述的一种电子级超纯氨水的吸收装置，其特征是，所述的塔体（3）与塔釜（4）均为圆柱形，塔釜的直径大于塔体的直径。

3.根据权利要求2所述的一种电子级超纯氨水的吸收装置，其特征是，所述的塔釜（4）与塔体（3）均为碳钢或不锈钢制成，并具有NEW PTFE或PFA制成的内衬，塔釜顶部与塔体底部之间用与塔釜和塔体相同的材料密封连接。

4.根据权利要求1所述的一种电子级超纯氨水的吸收装置，其特征是，所述的循环管上还设有冷却循环单元（5-4），冷却循环单元（5-4）的料液进口、料液出口与循环管相连。

5.根据权利要求1所述的一种电子级超纯氨水的吸收装置，其特征是，所述的塔釜处设有液位计（4-1）。

6.根据权利要求1所述的一种电子级超纯氨水的吸收装置，其特征是，所述的吸收塔塔顶设有除沫装置（8），尾气先通过除沫装置（8）后再通过尾气处理管（6）排放。

7.根据权利要求1至6任意一条权利要求所述的一种电子级超纯氨水的吸收装置，其特征是，所述过滤单元（5-2）的滤芯采用全氟材质，滤芯精度为亚微米级。

8.根据权利要求1至6任意一条权利要求所述的一种电子级超纯氨水的吸收装置，其特征是，所述的第一填料（3-2）与第二填料（3-3）为PFA材质，第一填料（3-2）与第二填料（3-3）的下部分别设有支撑装置（3-4）。

9.根据权利要求8所述的一种电子级超纯氨水的吸收装置，其特征是，所述的吸收塔顶部设有驱动装置（9），塔体内部在超纯水进水管下方还设有第三填料（3-5）与第四填料（3-6），第三填料（3-5）与第四填料（3-6）在分布器（3-1）上方且底部也均设有支撑装置；驱动装置（9）的两根输出杆分别与第三填料（3-5）、第四填料（3-6）的支撑装置连接，驱动装置（9）可以带动第三填料（3-5）与第四填料（3-6）同轴逆向旋转。

10.根据权利要求8所述的一种电子级超纯氨水的吸收装置，其特征是，所述的分布器（3-1）包括上下分布的第一分布器（3-11）与第二分布器（3-12）；所述的吸收塔顶部设有驱动装置（9），驱动装置（9）的两根输出杆分别与第一分布器（3-11）、第二分布器（3-12）连接，驱动装置（9）可以带动第一分布器（3-11）与第二分布器（3-12）同轴逆向旋转。