[实用新型]一种晶体生长炉的升降控制系统有效

专利信息
申请号: 202020508634.9 申请日: 2020-04-09
公开(公告)号: CN212247269U 公开(公告)日: 2020-12-29
发明(设计)人: 杨春华 申请(专利权)人: 北京鸿效兴华科技有限公司
主分类号: C30B11/00 分类号: C30B11/00
代理公司: 北京方安思达知识产权代理有限公司 11472 代理人: 张红生;刘振
地址: 101400 北*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 一种 晶体生长 升降 控制系统
【权利要求书】:

1.一种晶体生长炉的升降控制系统,包括:

触摸屏、控制器、PLC模块、脉冲伺服驱动器、伺服电机、减速机和升降机构;

其特征在于,所述触摸屏与PLC模块通讯连接,所述脉冲伺服驱动器与PLC模块通讯连接;所述PLC模块与控制器通讯连接;所述控制器与脉冲伺服驱动器通讯连接;

所述脉冲伺服驱动器与伺服电机通讯连接,所述伺服电机与减速机驱动连接,所述减速机与升降机构连接,该升降机构连接晶体生长炉的中心轴以达到中心轴所连晶体材料的升降。

2.根据权利要求1所述的晶体生长炉的升降控制系统,其特征在于,所述升降机构包括固定底板、滚珠丝杠、两个滑杠和连接器;所述固定底板上平行设置两个滑杠和滚珠丝杠,两个滑杠中间为滚珠丝杠,两个滑杠和滚珠丝杠均穿设在连接器上。

3.根据权利要求2所述的晶体生长炉的升降控制系统,其特征在于,所述连接器连接晶体生长炉的中心轴。

4.根据权利要求1所述的晶体生长炉的升降控制系统,其特征在于,所述减速机为行星减速机。

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