[实用新型]一种晶体生长炉的升降控制系统有效

专利信息
申请号: 202020508634.9 申请日: 2020-04-09
公开(公告)号: CN212247269U 公开(公告)日: 2020-12-29
发明(设计)人: 杨春华 申请(专利权)人: 北京鸿效兴华科技有限公司
主分类号: C30B11/00 分类号: C30B11/00
代理公司: 北京方安思达知识产权代理有限公司 11472 代理人: 张红生;刘振
地址: 101400 北*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 一种 晶体生长 升降 控制系统
【说明书】:

本实用新型属于晶体制备装置的技术领域,具体是一种晶体生长炉的升降控制系统,包括:触摸屏、控制器、PLC模块、脉冲伺服驱动器、伺服电机、减速机、升降机构;触摸屏与PLC模块通讯连接,脉冲伺服驱动器与PLC模块通讯连接;PLC模块与控制器通讯连接;控制器与脉冲伺服驱动器通讯连接;脉冲伺服驱动器与伺服电机通讯连接,伺服电机与减速机驱动连接,减速机与升降机构连接,升降机构连接晶体生长炉的中心轴以达到中心轴所连晶体材料的升降。该系统操作简便,结构简单,控制稳定精准。

技术领域

本实用新型属于晶体制备装置的技术领域,具体是一种晶体生长炉的升降控制系统。

背景技术

晶体生长炉传统的升降机构采用的是减速电机、蜗轮蜗杆、减速电机、连接器连接中心轴,中心轴上连接晶体材料。但蜗轮减速机一般均采用有色金属做蜗轮,蜗杆则采用较硬的钢材。由于是滑动摩擦传动,运行中会产生较多的热量,使减速机各零件和密封之间热膨胀产生差异,从而在各配合面形成间隙,润滑油液由于温度的升高变稀,易造成泄漏。蜗轮一般采用锡青铜,配对的蜗杆材料用45钢淬硬至HRC45~55,或40Cr淬硬HRC50~55后经蜗杆磨床磨削至粗糙度Ra 0.8μm。在正常使用时,容易磨损,造成传动比变化,影响晶体的生长。

还有的升降机构设计结构复杂,比如中国实用新型专利CN208632692U公开了一种晶体生长炉用升降装置,包括架体和连接在架体上的箱体,箱体下方于架体内设置有升降台,升降台上设置有穿设于箱体底部并朝向箱体内移动的支撑杆,支撑杆用于与坩埚固定连接以带动坩埚升降,箱体和架体之间设置有用于驱动升降台于架体内于竖直方向升降的丝杠升降机,升降台上朝向丝杠升降机的蜗杆所在的位置设置有第一板体,第一板体上设置有第一电机,第一电机通过减速组件驱动丝杠升降机的蜗杆转动,减速组件的设置对第一电机驱动蜗杆转动起到进一步的减速效果,防止因下降速度过快导致生长出来的晶体变为多晶,并且可防止晶体在生长的过程当中出现断层现象。该专利也是采用蜗轮蜗杆进行传动,且设计结构复杂,在使用过程容易影响晶体的生长。

因此,亟需一种操作简便,使用方便的晶体生长炉的升降控制系统。

实用新型内容

本实用新型提供了一种晶体生长炉的升降控制系统,该系统操作简便,结构简单,控制稳定。

为达到上述目的,本实用新型采用了如下的技术方案:

一种晶体生长炉的升降控制系统,包括:

触摸屏、控制器、PLC模块、脉冲伺服驱动器、伺服电机、减速机、升降机构;

触摸屏与PLC模块通讯连接,脉冲伺服驱动器与PLC模块通讯连接;PLC模块与控制器通讯连接;控制器与脉冲伺服驱动器通讯连接;脉冲伺服驱动器与伺服电机通讯连接,伺服电机与减速机驱动连接,减速机与升降机构连接,升降机构连接晶体生长炉的中心轴以达到中心轴所连晶体材料的升降。

进一步地,所述升降机构包括固定底板、滚珠丝杠、两个滑杠和连接器;所述固定底板上平行设置两个滑杠和滚珠丝杠,两个滑杠中间为滚珠丝杠,两个滑杠和滚珠丝杠均穿设在连接器上。

本实用新型中,所述连接器连接晶体生长炉的中心轴。

优选地,所述减速机为行星减速机。

本实用新型的触摸屏用于显示监控界面和运行操作界面:

监控界面:监控实时行走的距离和设定的速度,监控界面里的距离和速度只能监视不能修改参数,当点击进入按钮时,会弹出密码对话框,输入正确密码进入运行操作界面。

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