[实用新型]一种高精密压紧装置有效
申请号: | 202020517904.2 | 申请日: | 2020-04-09 |
公开(公告)号: | CN211879361U | 公开(公告)日: | 2020-11-06 |
发明(设计)人: | 胡新荣 | 申请(专利权)人: | 深圳市东昕科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/687 | 分类号: | H01L21/687;H01L21/67 |
代理公司: | 深圳中一联合知识产权代理有限公司 44414 | 代理人: | 李金伟 |
地址: | 518000 广东省深圳市宝安区福海街道*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 精密 压紧 装置 | ||
1.一种高精密压紧装置,其特征在于,包括:
底座(1);
滑动组件(2),滑动设于所述底座(1)上;
驱动组件(3),设于所述底座(1)上并用于驱动所述滑动组件(2)靠近或远离引线框架;
弹性压紧组件(4),设于所述底座(1)上并用于给所述滑动组件(2)一个使所述滑动组件(2)向所述引线框架运动的弹性压力;
压板组件(5),设于所述滑动组件(2)上并用于压紧所述引线框架;
以及,氮气保护组件(6),用于对所述引线框架喷氮气。
2.如权利要求1所述的高精密压紧装置,其特征在于,所述弹性压紧组件(4)包括:设于底座(1)上的第一固定座(41),螺接于所述第一固定座(41)上的调节压杆(42),以及一端抵接在所述滑动组件(2)上、另一端抵接在所述调节压杆(42)上的弹性件(43)。
3.如权利要求1所述的高精密压紧装置,其特征在于,所述驱动组件(3)包括:固设于所述底座(1)上的安装座(31),设于所述安装座(31)上的电机(32),以及设于所述电机(32)的输出轴上的偏心组件(33),所述偏心组件(33)与所述滑动组件(2)接触式连接并用于驱动所述滑动组件(2)作上下运动。
4.如权利要求3所述的高精密压紧装置,其特征在于,所述偏心组件(33)包括:设于所述电机(32)的输出轴上的联轴器(331),设于所述联轴器(331)上的偏心轴(332),以及将所述偏心轴(332)转动设于所述安装座(31)上的轴承(333),所述偏心轴(332)的偏心端与所述滑动组件(2)接触式连接。
5.如权利要求4所述的高精密压紧装置,其特征在于,所述驱动组件(3)上设有计圈组件(7),所述计圈组件(7)包括设于所述安装座(31)上的对射式光电传感器(72),以及设于所述偏心轴(332)上的并与其同步转动的遮光片(73)。
6.如权利要求4所述的高精密压紧装置,其特征在于,所述滑动组件(2) 包括:设于所述底座(1)上的导轨(21),滑动设于所述导轨(21)上的滑块(22),以及凸设于所述滑块(22)上的凸块(23),所述凸块(23)的下端面与所述偏心轴(332)的偏心端接触式连接。
7.如权利要求6所述的高精密压紧装置,其特征在于,所述底座(1)上设有滑槽(11),所述凸块(23)凸设于所述滑槽(11)内,所述偏心轴(332)的偏心端设有抵接圈(334),所述抵接圈(334)的外周面与所述凸块(23)的下端面接触式连接。
8.如权利要求1-7中任一项所述的高精密压紧装置,其特征在于,所述压板组件(5)包括:设于所述滑动组件(2)上的第二固定座(51),设于所述第二固定座(51)上的第三固定座(52),以及设于第三固定座(52)上的压板(53),所述压板(53)上间隔凸设有若干用于抵压所述引线框架的凸肋(531),所述第二固定座(51)包括:与所述滑动组件(2)固定连接的第一固定板(511),以及垂直设于所述第一固定板(511)上的第二固定板(512),所述第三固定座(52)转动设于所述第二固定板(512)上,所述第二固定板(512)上设有用于调节所述第三固定座(52)转动角度的调节件。
9.如权利要求8所述的高精密压紧装置,其特征在于,所述第二固定板(512)上设有第一安装孔(5111),所述第一安装孔(5111)内设有转轴,所述第三固定座(52)通过所述转轴转动设于所述第二固定板(512)上,所述第一安装孔(5111)的两侧设有用于螺接紧固件的螺纹孔(5112),所述第三固定座(52)上设有与所述螺纹孔(5112)对应的腰形沉孔(521),所述腰形沉孔(521)的宽度大于所述螺纹孔(5112)的孔径,所述第二固定板(512)的顶面间隔设有两个第二安装孔(5113),两个所述第二安装孔(5113)在竖直方向上位于所述第一安装孔(5111)的两侧,各所述调节件螺接于所述第二安装孔(5113)内并抵接于所述第三固定座(52)的端面。
10.如权利要求8所述的高精密压紧装置,其特征在于,所述氮气保护组件(6)包括:氮气罐、管道和氮气接头(61),所述压板(53)内设有氮气通道,所述氮气通道的一端安装所述氮气接头(61),另一端设有若干贯穿所述压板(53)表面的氮气出孔(532),各所述氮气出孔(532)位于两所述凸肋(531)之间。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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