[实用新型]皮带的二段式传动货叉

权利要求书

1.一种皮带的二段式传动货叉，包括用于放置晶圆和/或晶圆匣的晶圆夹爪，其特征在于：所述货叉包括在一对第一带轮之间卷绕的第一皮带、在一对第二带轮之间卷绕的第二皮带，以及由下至上依次叠置的底板、中间平台和顶板；所述底板上固定设置有第一导轨、驱动电机和第一从动轮座；所述一对第一带轮直径相同，其一安装在所述驱动电机的输出轴上，另一可转动设置在所述第一从动轮座上，使所述第一皮带沿所述第一导轨长度方向水平布置；所述中间平台可活动式支撑于所述第一导轨上并与所述第一皮带上侧固定，并可在所述第一皮带带动下沿所述第一导轨滑动；所述中间平台上固定设置有第二导轨和一对第二从动轮座；所述第二导轨和第一导轨同向；所述的一对第二带轮直径相同，分别可转动设置在所述一对第二从动轮座上，并使所述第二皮带所述第二导轨长度方向水平布置；所述第二皮带下侧与所述底板固定，其上侧与所述顶板固定；所述顶板支撑于所述第二导轨上，并在所述第二皮带带动下沿所述第二导轨滑动；所述晶圆夹爪形成于所述顶板的端部。

2.根据权利要求1所述的一种皮带的二段式传动货叉，其特征在于：所述传动货叉还包括驱动所述底板绕轴自转的转动机构。

3.根据权利要求1所述的一种皮带的二段式传动货叉，其特征在于：所述第二导轨和第一导轨均由一对直线导轨构成，所述的中间平台和顶板对应固定在该些直线导轨的滑块上；且第二导轨和第一导轨的中心线位于同一竖直平面上。

4.根据权利要求1所述的一种皮带的二段式传动货叉，其特征在于：所述一对第一带轮和一对第二带轮的中心距相同。