[实用新型]一种晶圆吸取装置

权利要求书

1.一种晶圆吸取装置，其特征在于，包括封装机的传送台(1)，所述传送台(1)的顶端放置有工件(2)，所述工件(2)的下方设置有顶升板(3)，所述顶升板(3)的左侧设置有接触式传感器(4)，所述顶升板(3)的底端中心位置设置有气缸一(5)，所述传送台(1)的顶端一侧设置有机架(6)，所述机架(6)的顶部对称设置有滑轨(7)，两所述滑轨(7)之间设置有丝杆(8)，所述丝杆(8)的一端连接有伺服电机(9)，所述滑轨(7)上滑动连接有拖板(10)，且所述拖板(10)与所述丝杆(8)螺纹连接；

所述拖板(10)的顶部设置有行程气缸(11)，所述拖板(10)上开设有燕尾滑槽(12)，所述燕尾滑槽(12)内滑动连接有滑块(13)，所述滑块(13)的顶端与所述行程气缸(11)的活塞固定连接，所述滑块(13)的底部开设有阶梯孔(14)，所述阶梯孔(14)内设置有缓冲机构(15)，所述缓冲机构(15)底端设置有真空吸盘(16)，所述滑块(13)远离所述拖板(10)的一侧设置有自锁机构(17)，所述滑块(13)的底部两侧对称设置有限位块(18)，所述滑块(13)的底端一侧设置有光电开关(19)，所述拖板(10)的一侧设置有位移传感器(20)；

所述自锁机构(17)包括设置在所述滑块(13)上的气缸二(1701)，所述气缸二(1701)的活塞杆连接有导杆(1702)，所述导杆(1702)的中间位置设置有滑套(1703)，且所述滑套(1703)固定在所述滑块(13)的侧壁上，所述导杆(1702)的圆周外侧且位于所述滑套(1703)的顶端设置有弹簧二(1704)，所述导杆(1702)的底端设置有夹紧组件(1705)。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆吸取装置，其特征在于，所述缓冲机构(15)包括设置在所述阶梯孔(14)内的弹簧一(1501)，所述弹簧一(1501)的底端设置有阶梯柱(1502)，且所述阶梯柱(1502)的底端连接有所述真空吸盘(16)。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆吸取装置，其特征在于，所述夹紧组件(1705)包括对称设置在所述滑块(13)两侧且位于所述限位块(18)上方的固定块(1706)，所述固定块(1706)上均设置有固定轴(1707)，所述固定轴(1707)的圆周外侧均活动连接有曲臂(1708)，且所述导杆(1702)的底端与所述曲臂(1708)的顶部活动连接。

4.根据权利要求3所述的一种晶圆吸取装置，其特征在于，所述导杆(1702)的一端设置有端面(1709)，所述端面(1709)上设置有固定销(1710)，所述导杆(1702)远离所述端面(1709)的一端圆周外侧设置有锥形限位套(1711)，所述锥形限位套(1711)朝向所述端面(1709)的一侧端面开设有安装槽(1712)。

5.根据权利要求3所述的一种晶圆吸取装置，其特征在于，所述曲臂(1708)的顶部开设有U形通孔(1713)，所述U形通孔(1713)的一侧设置有轴孔(1714)，所述曲臂(1708)的底部设置有卡槽(1715)，所述卡槽(1715)的底部一侧设置圆角(1716)。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆吸取装置，其特征在于，所述限位块(18)为楔形结构，且所述限位块(18)远离所述滑块(13)的一端均设置有橡胶阻尼(1801)。