[实用新型]一种用于半导体装片的芯片取放装置有效
申请号: | 202020527378.8 | 申请日: | 2020-04-13 |
公开(公告)号: | CN211350611U | 公开(公告)日: | 2020-08-25 |
发明(设计)人: | 张建坤 | 申请(专利权)人: | 张建坤 |
主分类号: | H01L21/683 | 分类号: | H01L21/683;H01L21/677 |
代理公司: | 郑州芝麻知识产权代理事务所(普通合伙) 41173 | 代理人: | 董晓勇 |
地址: | 235300 安徽省*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 半导体 芯片 装置 | ||
1.一种用于半导体装片的芯片取放装置,包括操作台(1),其特征在于:所述操作台(1)的顶部活动连接有固定架(2),所述固定架(2)的顶部一侧固定连接有支撑板(3),所述支撑板(3)的中部开设有槽口(4),所述槽口(4)的两侧均开设有滑槽(5),所述滑槽(5)的内部活动连接有丝杠(6),所述丝杠(6)的表面活动连接有滑动板(7),所述滑动板(7)的顶部中间固定连接有气缸(8),所述气缸(8)的固定连接有伸缩杆(9),所述伸缩杆(9)的一端固定连接有固定板(10),所述固定板(10)的一侧固定连接有吸盘(11);
所述固定架(2)的顶端另一侧两端均固定连接有第一电机(12),所述操作台(1)的一侧开设有放置槽(13),所述操作台(1)的另一侧固定安装有传送带(14);
所述传送带(14)的内部中间固定连接有第二电机(15),所述第二电机(15)的一端固定连接有转轴(16),所述转轴(16)的一端固定连接有转动盘(17)。
2.根据权利要求1所述的一种用于半导体装片的芯片取放装置,其特征在于:
所述操作台(1)的中部开设有圆槽,所述转动盘(17)位于圆槽内并与圆槽活动连接;
所述转动盘(17)与圆槽之间活动连接滚珠。
3.根据权利要求1所述的一种用于半导体装片的芯片取放装置,其特征在于:
所述固定架(2)位于转动盘(17)上并与转动盘(17)固定连接。
4.根据权利要求1所述的一种用于半导体装片的芯片取放装置,其特征在于:
所述丝杠(6)的一端贯穿固定架(2)并与第一电机(12)的一端固定连接;
所述滑动板(7)位于槽口(4)内。
5.根据权利要求1所述的一种用于半导体装片的芯片取放装置,其特征在于:
所述滑动板(7)的两端均开设有螺纹孔,所述丝杠(6)位于螺纹孔内并与滑动板(7)螺纹连接。
6.根据权利要求1所述的一种用于半导体装片的芯片取放装置,其特征在于:
所述吸盘(11)的数量不少于三个,不少于三个所述吸盘(11)等间距排列在固定板(10)上;
所述固定板(10)通过吸管与负压泵连接。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造