[实用新型]一种用于半导体装片的芯片取放装置有效
申请号: | 202020527378.8 | 申请日: | 2020-04-13 |
公开(公告)号: | CN211350611U | 公开(公告)日: | 2020-08-25 |
发明(设计)人: | 张建坤 | 申请(专利权)人: | 张建坤 |
主分类号: | H01L21/683 | 分类号: | H01L21/683;H01L21/677 |
代理公司: | 郑州芝麻知识产权代理事务所(普通合伙) 41173 | 代理人: | 董晓勇 |
地址: | 235300 安徽省*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 半导体 芯片 装置 | ||
本实用新型公开了一种用于半导体装片的芯片取放装置,涉及到半导体生产领域,包括操作台,操作台的顶部活动连接有固定架,固定架的顶部一侧固定连接有支撑板,支撑板的中部开设有槽口,槽口的两侧均开设有滑槽,滑槽的内部活动连接有丝杠,丝杠的表面活动连接有滑动板,滑动板的顶部中间固定连接有气缸,气缸的固定连接有伸缩杆,伸缩杆的一端固定连接有固定板,固定板的一侧固定连接有吸盘,固定架的顶端另一侧两端均固定连接有第一电机。本实用新型通过丝杠能够带动滑动板实现左右移动的效果,从而方便滑动板上的吸盘对横向放置的芯片进行吸取,从而避免由于芯片的体积较小不便于人工操作的情况。
技术领域
本实用新型涉及半导体生产领域,特别涉及一种用于半导体装片的芯片取放装置。
背景技术
目前,高科技电子产品正朝着小、轻、薄的趋势发展。与之相反,受到成本及其他方面的市场压力,引线框架或封装载板的面积反而向着大尺寸的方向发展。目前最流行的扇出型封装技术,特别是基于大面积封装载板的封装技术,其封装载体的面积已经达到传统封装载体(如引线框架)的10倍到20倍左右。面对这种技术趋势,如何提高装片/贴片效率是各个全球各个顶尖的设备制造商都在考虑的问题。在半导体封装中,需要将芯片移动以进行各种工艺,例如固晶。但是,由于现有的芯片体积较小且易破碎,人工移动芯片是较困难的。因此,提出一种用于半导体装片的芯片取放装置来解决上述问题很有必要。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种用于半导体装片的芯片取放装置,以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种用于半导体装片的芯片取放装置,包括操作台,所述操作台的顶部活动连接有固定架,所述固定架的顶部一侧固定连接有支撑板,所述支撑板的中部开设有槽口,所述槽口的两侧均开设有滑槽,所述滑槽的内部活动连接有丝杠,所述丝杠的表面活动连接有滑动板,所述滑动板的顶部中间固定连接有气缸,所述气缸的固定连接有伸缩杆,所述伸缩杆的一端固定连接有固定板,所述固定板的一侧固定连接有吸盘;
所述固定架的顶端另一侧两端均固定连接有第一电机,所述操作台的一侧开设有放置槽,所述操作台的另一侧固定安装有传送带;
所述传送带的内部中间固定连接有第二电机,所述第二电机的一端固定连接有转轴,所述转轴的一端固定连接有转动盘。
可选的,所述操作台的中部开设有圆槽,所述转动盘位于圆槽内并与圆槽活动连接;
所述转动盘与圆槽之间活动连接滚珠。
可选的,所述固定架位于转动盘上并与转动盘固定连接。
可选的,所述丝杠的一端贯穿固定架并与第一电机的一端固定连接;
所述滑动板位于槽口内。
可选的,所述滑动板的两端均开设有螺纹孔,所述丝杠位于螺纹孔内并与滑动板螺纹连接。
可选的,所述吸盘的数量不少于三个,不少于三个所述吸盘等间距排列在固定板上;
所述固定板通过吸管与负压泵连接。
本实用新型的技术效果和优点:
1、本实用新型通过丝杠能够带动滑动板实现左右移动的效果,从而一方面方便滑动板上的吸盘对横向放置的芯片进行吸取,从而避免由于芯片的体积较小不便于人工操作的情况,另一方面便于吸盘上的芯片放置到合适的位置。
2、本实用新型通过第二电机能够使转轴带动转动盘上的固定架转动,使固定架上的吸盘将放置槽内的芯片移动到传送带上,从而实现对芯片的取放。
附图说明
图1为本实用新型结构的主视剖面示意图。
图2为本实用新型支撑板结构的示意图。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造