[实用新型]用于晶圆清洗烘干的充气式主轴密封装置

权利要求书

1.用于晶圆清洗烘干的充气式主轴密封装置，包括盖板(1)，其特征在于，所述盖板(1)的底端镶嵌连接有底板(2)，所述底板(2)的下方插接有气垫(6)，所述气垫(6)的两侧固定安装有侧腔(3)，所述侧腔(3)的内部固定安装有弹簧A(4)，所述弹簧A(4)的一端间隙连接在磁铁A(5)的一端，所述气垫(6)的底端插接在乳胶垫(9)的内部，所述盖板(1)的内部固定安装有支承座(11)，所述支承座(11)包括底座A(12)底座B(16)，所述底座A(12)的一端过盈连接有支座A(13)，所述支座A(13)的下方镶嵌连接有弹簧B(14)，所述弹簧B(14)的下方固定安装有支座B(15)，所述支座B(15)的下方固定安装有底座B(16)。

2.根据权利要求1所述的用于晶圆清洗烘干的充气式主轴密封装置，其特征在于，所述底板(2)的两侧固定安装有磁铁B(10)，且所述磁铁B(10)的材料为钕铁硼材料。

3.根据权利要求1所述的用于晶圆清洗烘干的充气式主轴密封装置，其特征在于，所述支承座(11)为上下对称结构，且所述支承座(11)的数量为多个。

4.根据权利要求1所述的用于晶圆清洗烘干的充气式主轴密封装置，其特征在于，所述气垫(6)内部填充有氮气。

5.根据权利要求1所述的用于晶圆清洗烘干的充气式主轴密封装置，其特征在于，所述气垫(6)的顶端插接有导气管(7)，所述导气管(7)的顶端一侧插接有支气管(8)。