[实用新型]一种具有辅助加热装置的退火炉

权利要求书

1.一种具有辅助加热装置的退火炉，其特征在于：包括炉体(3)、石英管(6)、原热源(1)、辅助热源(2)以及控制原热源(1)和辅助热源(2)的温控装置，所述原热源(1)为螺旋缠绕在炉体(3)内壁上的加热炉丝，所述辅助热源(2)位于反应室(4)内，所述石英管(6)位于炉体(3)内，所述炉体(3)两端分别设有端盖(32)和炉门(31)，所述端盖(32)、炉门(31)和石英管(6)围成的封闭区域构成反应室(4)，所述辅助热源(2)为多个圆弧形加热管(21)，所述多个圆弧形加热管(21)沿反应室(4)轴向间隔布置，所述圆弧形加热管(21)的开口(201)朝下。

2.根据权利要求1所述的具有辅助加热装置的退火炉，其特征在于：所述圆弧形加热管(21)通过至少两根支撑条(7)来安装，所述支撑条(7)沿着反应室(4)轴向设有多个卡槽(71)，所述圆弧形加热管(21)卡设于所述卡槽(71)内，所述支撑条(7)的两端分别固定在端盖(32)和炉门(31)上。

3.根据权利要求1所述的具有辅助加热装置的退火炉，其特征在于：所述圆弧形加热管(21)设有将热量聚向圆弧中心的聚光镜面(202)。

4.根据权利要求3所述的具有辅助加热装置的退火炉，其特征在于：所述圆弧形加热管(21)包括管外套(211)和加热丝(212)，所述加热丝(212)位于管外套(211)内，所述聚光镜面(202)位于管外套(211)内。

5.根据权利要求1至4任意一项所述的具有辅助加热装置的退火炉，其特征在于：所述圆弧形加热管(21)朝向石英管(6)内壁的面设置为圆柱面(204)，所述圆柱面(204)可与石英管(6)内壁面以面与面接触的方式贴合。

6.根据权利要求1至4任意一项所述的具有辅助加热装置的退火炉，其特征在于：所述多个圆弧形加热管(21)沿反应室(4)轴向不均匀间隔布置。

7.根据权利要求1至4任意一项所述的具有辅助加热装置的退火炉，其特征在于：各圆弧形加热管(21)的正极接在一个灯管引线(203)上，各圆弧形加热管(21)的负极接在另一个灯管引线(203)上。

8.根据权利要求1至4任意一项所述的具有辅助加热装置的退火炉，其特征在于：所述炉体(3)外壁上设有外热偶(81)，所述反应室(4)内设有内热偶(82)，所述内热偶(82)沿反应室(4)轴向平行设置，所述内热偶(82)与外热偶(81)均与温控装置连接。

9.一种具有辅助加热装置的退火炉，其特征在于：包括炉体(3)、石英管(6)、原热源(1)、辅助热源(2)以及控制原热源(1)和辅助热源(2)的温控装置，所述原热源(1)为螺旋缠绕在炉体(3)内壁上的加热炉丝，所述辅助热源(2)位于反应室(4)内，所述石英管(6)位于炉体(3)内，所述炉体(3)两端分别设有端盖(32)和炉门(31)，所述端盖(32)、炉门(31)和石英管(6)围成的封闭区域构成反应室(4)，所述辅助热源(2)为多个环形加热管(22)，所述多个环形加热管(22)沿反应室(4)轴向间隔布置。

10.根据权利要求9所述的具有辅助加热装置的退火炉，其特征在于：所述环形加热管(22)设有将热量聚向圆弧中心的聚光镜面(202)。