[实用新型]一种具有辅助加热装置的退火炉

说明书

本实用新型公开了一种具有辅助加热装置的退火炉，包括炉体、石英管、原热源、辅助热源以及温控装置，原热源为螺旋缠绕在炉体内壁上的加热炉丝，辅助热源位于反应室内，石英管位于炉体内，炉体两端分别设有端盖和炉门，端盖、炉门和石英管围成的封闭区域构成反应室，辅助热源为多个圆弧形加热管，多个圆弧形加热管沿反应室轴向间隔布置，圆弧形加热管的开口朝下。本实用新型在反应室内增加辅助热源，对反应室内的舟体近距离加热，加热炉丝的加热功率降低，减少加热炉丝的使用量，辅助热源为圆弧形加热管或者环形加热管，可根据反应室轴向温度要求沿轴向分布的疏密不同，通过加热管的疏密改变炉体不同温区的温度，有利于更好的控温，提升工艺效果。

技术领域

本实用新型涉及光伏电池生产设备，尤其涉及一种具有辅助加热装置的退火炉。

背景技术

太阳能是自然界取之不尽用之不竭的清洁能源，光伏电池可以将太阳能转换成为电能，因此光伏电池片具有广泛的使用前景。在光伏电池的生产过程中，退火(及扩散)是光伏电池生产过程中的重要工序，反应室就是工艺的反应场所。退火不同于表面镀膜工艺(在PECVD反应室内进行)，退火工艺温度一般900℃，表面镀膜工艺温度一般450℃，退火对炉丝的温度要求更高，选择直径更大的炉丝，相同长度阻值更小来提升功率，这样消耗的炉丝比较多，也增加了升温过程中炉丝的吸热量。现有退火炉反应室的热量来源于炉丝的加热，普遍采用直径8mm的炉丝，因此炉丝量比较多，炉体比较重，同时在升温过程中炉丝吸热更多。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是克服现有技术的不足，提供一种减少加热炉丝的使用量，改变炉体不同温区的温度，有利于更好的控温，提升工艺效果的具有辅助加热装置的退火炉。

为解决上述技术问题，本实用新型采用以下技术方案：

一种具有辅助加热装置的退火炉，包括炉体、石英管、原热源、辅助热源以及控制原热源和辅助热源的温控装置，所述原热源为螺旋缠绕在炉体内壁上的加热炉丝，所述辅助热源位于反应室内，所述石英管位于炉体内，所述炉体两端分别设有端盖和炉门，所述端盖、炉门和石英管围成的封闭区域构成反应室，所述辅助热源为多个圆弧形加热管，所述多个圆弧形加热管沿反应室轴向间隔布置，所述圆弧形加热管的开口朝下。

作为上述技术方案的进一步改进：

所述圆弧形加热管通过至少两根支撑条来安装，所述支撑条沿着反应室轴向设有多个卡槽，所述圆弧形加热管卡设于所述卡槽内，所述支撑条的两端分别固定在端盖和炉门上。

所述圆弧形加热管设有将热量聚向圆弧中心的聚光镜面。

所述圆弧形加热管包括管外套和加热丝，所述加热丝位于管外套内，所述聚光镜面位于管外套内。

所述圆弧形加热管朝向石英管内壁的面设置为圆柱面，所述圆柱面可与石英管内壁面以面与面接触的方式贴合。

所述多个圆弧形加热管沿反应室轴向不均匀间隔布置。

各圆弧形加热管的正极接在一个灯管引线上，各圆弧形加热管的负极接在另一个灯管引线上。

所述炉体外壁上设有外热偶，所述反应室内设有内热偶，所述内热偶沿反应室轴向平行设置，所述内热偶与外热偶均与温控装置连接。

一种具有辅助加热装置的退火炉，包括炉体、石英管、原热源、辅助热源以及控制原热源和辅助热源的温控装置，所述原热源为螺旋缠绕在炉体内壁上的加热炉丝，所述辅助热源位于反应室内，所述石英管位于炉体内，所述炉体两端分别设有端盖和炉门，所述端盖、炉门和石英管围成的封闭区域构成反应室，所述辅助热源为多个环形加热管，所述多个环形加热管沿反应室轴向间隔布置。

作为上述技术方案的进一步改进：

所述环形加热管设有将热量聚向圆弧中心的聚光镜面。