[实用新型]掩膜版存放装置

说明书

本申请属于掩膜版生产设备技术领域，尤其涉及一种掩膜版存放装置。本申请的掩膜版存放装置，可通过调整两个夹持组件在对应的旋转组件上的旋转角度，实现对不同尺寸的铬版掩膜版的存放。各夹持组件均能在旋转组件上转动，且通过掩膜版的自重将两个夹持组件朝向中间旋转。再在夹持组件上设有多个卡球，一方面，用于防止掩膜版与第一夹持件和第二夹持件接触，导致影响掩膜版的性能，另一方面，用于夹持固定该掩膜版。此外，设于第二夹持件下方的弹性件，在当两个夹持组件夹持有掩膜版时，能够支撑该夹持组件和掩膜版，当掩膜版取出后，弹性件将加持组件向上顶起，使得顶部开口较大，呈现张开模式，准备下一次存放铬版掩膜版。

技术领域

本申请属于掩膜版生产设备技术领域，尤其涉及一种掩膜版存放装置。

背景技术

光刻掩膜版是整个半导体产业较关键的一个环节，随着国家加大对半导体产业的投入，根据CSIA、赛迪智库、SEMI等权威机构的预测数据，可见未来几年内，半导体行业将保持20％-30％的增长。而随着半导体产业的大力发展，半导体掩膜版的需求也随之爆发式的增长。但是，大尺寸的铬版掩膜版一直没有很好的专用存放工作台，普通的存放工作台易出现边缘污染等现象。

实用新型内容

本申请的目的在于提供一种掩膜版存放装置，旨在解决现有技术中的大尺寸的铬版掩膜版一直没有很好的专用存放工作台，且普通的存放工作台易出现边缘污染等现象的技术问题。

为实现上述目的，本申请采用的技术方案是：本一种掩膜版存放装置，用于存放掩膜版，包括：安装台、旋转组件、弹性件以及夹持组件；旋转组件数量为两个，且设于所述安装台上；两个所述弹性件与两个所述旋转组件位于同一直线上，两个所述弹性件设于两个所述旋转组件之间；夹持组件数量为两个，各所述夹持组件均包括呈夹角设置的第一夹持件和第二夹持件，所述第一夹持件与所述第二夹持件的连接处与所述旋转组件转动连接，各所述第二夹持件下方均连接有一个所述弹性件，所述第一夹持件和所述第二夹持件上均设有用于支撑所述掩膜版的卡轮。

在一个实施例中，所述第一夹持件与所述第二夹持件之间的夹角为90°。

在一个实施例中，各所述第一夹持件均设有多个等间距间隔设置的所述卡轮。

在一个实施例中，所述第一夹持件和所述第二夹持件上均穿设有多个第一连接件，各所述第一连接件上均转动设有一个所述卡轮。

在一个实施例中，各所述旋转组件均包括固定支架和设于所述固定支架上的第二连接件，所述第一夹持件和所述第二夹持件的连接处与所述第二连接件转动连接，两个所述弹性件设于两个所述固定支架之间。

在一个实施例中，所述安装台上开设有两个第一滑槽，两个所述第一滑槽位于同一直线上，各所述固定支架滑动设于一个所述第一滑槽内。

在一个实施例中，各所述第一夹持件开设有沿所述第一夹持件的长度方向设置的第二滑槽，多个所述第一连接件滑动设于所述第二滑槽内。

在一个实施例中，如各所述第二夹持件开设有沿所述第二夹持件的长度方向设置的第三滑槽，多个所述第一连接件滑动设于所述第三滑槽内。

本申请的有益效果：本申请的掩膜版存放装置，可通过调整两个夹持组件在对应的旋转组件上的旋转角度，实现对不同尺寸的铬版掩膜版的存放。具体地，各夹持组件均能在旋转组件上转动，夹持组件便能以旋转组件为中心转动，且能够通过掩膜版的自重将两个夹持组件朝向中间旋转。再在夹持组件上设有多个卡球，一方面，用于防止掩膜版与第一夹持件和第二夹持件接触，导致掩膜版边缘污染，另一方面，用于夹持固定该掩膜版。此外，设于第二夹持件下方的弹性件，在当两个夹持组件夹持有掩膜版时，能够支撑该夹持组件和掩膜版，当掩膜版取出后，弹性件将加持组件向上顶起，使得顶部开口较大，呈现张开模式，准备下一次存放铬版掩膜版。

附图说明