[实用新型]一种硅片花篮抓取转运装置有效
| 申请号： | 202020534492.3 | 申请日： | 2020-04-13 |
| 公开（公告）号： | CN211507591U | 公开（公告）日： | 2020-09-15 |
| 发明（设计）人： | 李伟;戴磊;王波波;吴斌华;夏康;蓝希旺 | 申请（专利权）人： | 中赣新能源股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677 |
| 代理公司： | 温州名创知识产权代理有限公司 33258 | 代理人： | 程嘉炜 |
| 地址： | 335000 江*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 花篮 抓取 转运 装置 | ||
1.一种硅片花篮抓取转运装置，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)的顶端设置有硅片篮(2)，所述底座(1)的一侧固定连接有转动座(9)，所述转动座(9)的顶端中心处转动连接有气压缸(8)，所述气压缸(8)的顶端固定连接有转运辊(5)，所述转运辊(5)的中心处转动连接有转动杆(6)，所述转运辊(5)的两侧滑动连接有多个挂接杆(4)，所述转运辊(5)的顶端固定连接有伸缩电机(3)，所述伸缩电机(3)转轴与转动杆(6)固定连接，所述转动杆(6)的两侧固定连接有第一连杆(10)，两侧所述第一连杆(10)背离转动杆(6)的位置转动连接有第二连杆(11)，两侧所述第二连杆(11)的另一端与挂接杆(4)转动连接。
2.根据权利要求1所述的一种硅片花篮抓取转运装置，其特征在于：所述硅片篮(2)的一侧设置有挂接孔，所述硅片篮(2)的另一侧设置有硅片槽。
3.根据权利要求1所述的一种硅片花篮抓取转运装置，其特征在于：所述转运辊(5)在与挂接杆(4)的滑动连接处设置有滑槽，所述挂接杆(4)的前端设置有挂接块，所述挂接块小于硅片篮(2)的挂接孔。
4.根据权利要求1所述的一种硅片花篮抓取转运装置，其特征在于：所述转动座(9)与气压缸(8)之间设置有齿轮，所述转动座(9)的一侧顶端固定连接有转运电机(7)，所述转运电机(7)的转轴底端固定连接有齿轮，两个所述齿轮相啮合。
5.根据权利要求1所述的一种硅片花篮抓取转运装置，其特征在于：所述转动座(9)在与气压缸(8)的转动连接处设置有轴承，所述气压缸(8)的底端在与转动座(9)的转动连接处设置有转轴。
6.根据权利要求1所述的一种硅片花篮抓取转运装置，其特征在于：所述伸缩电机(3)在与转运辊(5)的连接处设置有垫圈。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
