[实用新型]一种硅片花篮抓取转运装置有效
申请号: | 202020534492.3 | 申请日: | 2020-04-13 |
公开(公告)号: | CN211507591U | 公开(公告)日: | 2020-09-15 |
发明(设计)人: | 李伟;戴磊;王波波;吴斌华;夏康;蓝希旺 | 申请(专利权)人: | 中赣新能源股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677 |
代理公司: | 温州名创知识产权代理有限公司 33258 | 代理人: | 程嘉炜 |
地址: | 335000 江*** | 国省代码: | 江西;36 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 硅片 花篮 抓取 转运 装置 | ||
本实用新型公开了一种硅片花篮抓取转运装置,包括底座,所述底座的顶端设置有硅片篮,所述底座的一侧固定连接有转动座,所述转动座的顶端中心处转动连接有气压缸,所述气压缸的顶端固定连接有转运辊,所述转运辊的中心处转动连接有转动杆,所述转运辊的两侧滑动连接有多个挂接杆,所述转运辊的顶端固定连接有伸缩电机,所述伸缩电机转轴与转动杆固定连接,所述转动杆的两侧固定连接有第一连杆,两侧所述第一连杆背离转动杆的位置转动连接有第二连杆,通过设置转运电机、转运辊、以及气压缸,通过气压缸将硅片篮顶起,之后通过转运电机驱动转运辊进行转运,转运过程更加的便捷,满载的硅片篮可以与空载硅片篮直接交换,增加转运效率。
技术领域
本实用新型涉及花篮抓取转运领域,尤其涉及一种硅片花篮抓取转运装置。
背景技术
现市面上的硅片转运装置的布局方式为在硅片入花篮装置的花篮输送线同侧同时设有花篮入料装置和硅片入料装置,然后将硅片置入花篮内,再将满载硅片的花篮输送出去。
现有的花篮在输送时,需要抓取后进行移动,现有技术中,这个移动的速度很慢,无法保证高效的进行转运。
实用新型内容
本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点,而提出的一种硅片花篮抓取转运装置。
为了实现上述目的,本实用新型采用了如下技术方案:一种硅片花篮抓取转运装置,包括底座,所述底座的顶端设置有硅片篮,所述底座的一侧固定连接有转动座,所述转动座的顶端中心处转动连接有气压缸,所述气压缸的顶端固定连接有转运辊,所述转运辊的中心处转动连接有转动杆,所述转运辊的两侧滑动连接有多个挂接杆,所述转运辊的顶端固定连接有伸缩电机,所述伸缩电机转轴与转动杆固定连接,所述转动杆的两侧固定连接有第一连杆,两侧所述第一连杆背离转动杆的位置转动连接有第二连杆,两侧所述第二连杆的另一端与挂接杆转动连接。
作为上述技术方案的进一步描述:
所述硅片篮的一侧设置有挂接孔,所述硅片篮的另一侧设置有硅片槽。
作为上述技术方案的进一步描述:
所述转运辊在与挂接杆的滑动连接处设置有滑槽,所述挂接杆的前端设置有挂接块,所述挂接块小于硅片篮的挂接孔。
作为上述技术方案的进一步描述:
所述转动座与气压缸之间设置有齿轮,所述转动座的一侧顶端固定连接有转运电机,所述转运电机的转轴底端固定连接有齿轮,两个所述齿轮相啮合。
作为上述技术方案的进一步描述:
所述转动座在与气压缸的转动连接处设置有轴承,所述气压缸的底端在与转动座的转动连接处设置有转轴。
作为上述技术方案的进一步描述:
所述伸缩电机在与转运辊的连接处设置有垫圈。
本实用新型具有如下有益效果:
1、本实用新型通过设置硅片篮挂接孔,之后通过挂接杆插入挂接孔的方式进行硅片篮的抓取,抓取过程更加的稳定。
2、本实用新型通过设置转运电机、转运辊、以及气压缸,通过气压缸将硅片篮顶起,之后通过转运电机驱动转运辊进行转运,转运过程更加的便捷,满载的硅片篮可以与空载硅片篮直接交换,增加转运效率。
附图说明
图1为本实用新型提出的一种硅片花篮抓取转运装置的整体结构示意图;
图2为本实用新型提出的一种硅片花篮抓取转运装置的转运辊俯视图;
图3为本实用新型提出的一种硅片花篮抓取转运装置的硅片篮侧视图。
图例说明:
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造