[实用新型]多弧离子镀膜靶材

权利要求书

1.多弧离子镀膜靶材，包括底座（1）、定位槽（4）和顶板（6），其特征在于：所述底座（1）的底端表面贴合有防腐涂层（2），且底座（1）的内部安置有支撑机构（3），所述定位槽（4）的内部安装有凸块（5），且定位槽（4）位于底座（1）的顶端表面，所述顶板（6）的底端表面连接有延伸块（7），且顶板（6）位于底座（1）的上方，所述延伸块（7）的右侧设置有卡槽（8），所述顶板（6）的表面固定有铆钉（9），且顶板（6）的外部安置有外壳（10），所述外壳（10）的外部设置有外螺纹（11）。

2.根据权利要求1所述的多弧离子镀膜靶材，其特征在于：所述防腐涂层（2）的表面积大于底座（1）的表面积，且防腐涂层（2）的内部表面与底座（1）的外部表面之间紧密贴合。

3.根据权利要求1所述的多弧离子镀膜靶材，其特征在于：所述支撑机构（3）包括支撑板（301）、加强筋（302）、固定圈（303）和支杆（304），且支撑板（301）的右侧固定有加强筋（302），所述加强筋（302）的前端安装有固定圈（303），且固定圈（303）的内部安置有支杆（304）。

4.根据权利要求3所述的多弧离子镀膜靶材，其特征在于：所述加强筋（302）与支撑板（301）之间为焊接，且支撑板（301）之间关于底座（1）的竖直中心线相对称，并且支撑板（301）与加强筋（302）之间呈桁架状结构。

5.根据权利要求3所述的多弧离子镀膜靶材，其特征在于：所述固定圈（303）呈螺旋状结构分布于支杆（304）的外部，且固定圈（303）与底座（1）之间相垂直，并且底座（1）通过固定圈（303）构成弹性结构。

6.根据权利要求1所述的多弧离子镀膜靶材，其特征在于：所述顶板（6）通过延伸块（7）、卡槽（8）、定位槽（4）和凸块（5）之间的配合与底座（1）之间卡和连接，且凸块（5）与铆钉（9）之间的水平中心线相重合，并且顶板（6）通过铆钉（9）和凸块（5）之间的配合与底座（1）固定连接，而且铆钉（9）之间关于顶板（6）的圆心环形分布。