[实用新型]多弧离子镀膜靶材

说明书

本实用新型属于多弧离子镀膜技术领域，尤其为多弧离子镀膜靶材，包括底座、定位槽和顶板，所述底座的底端表面贴合有防腐涂层，所述定位槽的内部安装有凸块，所述顶板的底端表面连接有延伸块，所述延伸块的右侧设置有卡槽，所述顶板的表面固定有铆钉，所述外壳的外部设置有外螺纹。该多弧离子镀膜靶材通过顶板、铆钉、外壳和外螺纹的设置，顶板通过三个铆钉和凸块之间的配合与底座固定连接，而外壳对顶板的外部表面进行遮挡，使外部作用力不会直接作用到顶板上，同时也能够对铆钉进行遮挡，使镀膜靶材更加美观，通过外壳外部的外螺纹能够将镀膜靶材与合适的设备进行连接，现有的镀膜靶材是直接把铜焊上去，易损坏材料，该镀膜靶材解决了这一情况。

技术领域

本实用新型涉及多弧离子镀膜技术领域，具体为多弧离子镀膜靶材。

背景技术

多弧离子镀膜是采用电弧放电的方法，在固体的阴极靶材上直接蒸发金属，蒸发物是从阴极弧光辉点放出的阴极物质的离子，从而在基材表面沉积成为薄膜的方法，在采用多弧离子镀膜的方法进行镀膜时，必须要使用到专用的镀膜靶材。

现在传统的镀膜靶材使用贵金属钛、铬、锆、镍等，成本较高，不便于与合适的设备进行安装连接，且容易出现材料的损坏，需要降低靶材成本，使用时不会轻易的损坏，且便于与合适的设备进行安装连接的新型镀膜靶材。

针对上述问题，急需在原有镀膜靶材的基础上进行创新设计。

发明内容

本实用新型的目的在于提供多弧离子镀膜靶材，以解决上述背景技术中提出的贵金属成本较高，在使用时容易出现损坏，不便于与合适的设备进行安装连接，且容易出现材料的损坏的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：多弧离子镀膜靶材，包括底座、定位槽和顶板，所述底座的底端表面贴合有防腐涂层，且底座的内部安置有支撑机构，所述定位槽的内部安装有凸块，且定位槽位于底座的顶端表面，所述顶板的底端表面连接有延伸块，且顶板位于底座的上方，所述延伸块的右侧设置有卡槽，所述顶板的表面固定有铆钉，且顶板的外部安置有外壳，所述外壳的外部设置有外螺纹。

优选的，所述防腐涂层的表面积大于底座的表面积，且防腐涂层的内部表面与底座的外部表面之间紧密贴合。

优选的，所述支撑机构包括支撑板、加强筋、固定圈和支杆，且支撑板的右侧固定有加强筋，所述加强筋的前端安装有固定圈，且固定圈的内部安置有支杆。

优选的，所述加强筋与支撑板之间为焊接，且支撑板之间关于底座的竖直中心线相对称，并且支撑板与加强筋之间呈桁架状结构。

优选的，所述固定圈呈螺旋状结构分布于支杆的外部，且固定圈与底座之间相垂直，并且底座通过固定圈构成弹性结构。

优选的，所述顶板通过延伸块、卡槽、定位槽和凸块之间的配合与底座之间卡和连接，且凸块与铆钉之间的水平中心线相重合，并且顶板通过铆钉和凸块之间的配合与底座固定连接，而且铆钉之间关于顶板的圆心环形分布。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该多弧离子镀膜靶材不会轻易的受到外部腐蚀物质的侵蚀而破裂，可承受压力有限，使用寿命长，使用时不会轻易的损坏，且便于与合适的设备进行安装连接；

1、该多弧离子镀膜靶材通过支撑机构的设置，桁架状结构提升了底座可承受的作用力，使底座受到冲击后不会轻易的损坏，从而使镀膜靶材在使用时不会轻易的损坏，加强筋和支撑板之间的焊接具有生产率高，成本低，变形小，连接质量高和操作简单的特点，简化了镀膜靶材的生产难度，从而缩小了镀膜靶材的生产手工费，便于镀膜靶材进行推广使用，固定圈通过螺旋状结构延长了作用力的传导时间，从而减小了相同动量变化下物体所受到的作用力，起到了减震缓冲的作用，对底座提供了保护，进一步的提升了底座可承受的压力；