[实用新型]一种软膜限定机构

权利要求书

1.一种软膜限定机构，其特征在于，包括：

压紧机构，包括分别位于软膜上方、下方的限位盘、托盘，所述限位盘的底部具备容纳软膜且开口向下的容纳坑；当软膜不受除重力之外的外力时，所述容纳坑的竖向投影面积大于的软膜的竖向投影面积，所述容纳坑的竖向投影轮廓与软膜的竖向投影轮廓形状相同，并且容纳坑的深度不小于软膜的厚度；所述容纳坑底部至限位盘的上表面之间为透明板，所述透明板与限位盘可拆卸地连接；

活动机构，所述限位盘、托盘均具备竖向升降自由度，还具备沿同一水平方向的直线往复自由度；

检视机构，所述限位盘的上方设有工作台，所述检视机构设置在工作台上。

2.根据权利要求1所述的软膜限定机构，其特征在于：所述托盘的下方依次设有竖向气缸、水平直线模组，所述限位盘通过第一水平滑轨连接有工作台，所述第一水平滑轨的长度方向与水平直线模组运动方向平行。

3.根据权利要求2所述的软膜限定机构，其特征在于：所述限位盘的两侧分别设有与第一水平滑轨装配的升降气缸，所述容纳坑的竖向投影不与升降气缸重合。

4.根据权利要求1所述的软膜限定机构，其特征在于：所述限位盘中具备水平的台阶面，所述限位盘在台阶面朝上具备容纳透明板的镂空部，所述镂空部的竖向投影面积大于容纳坑的竖向投影面积，所述台阶面上具备环形槽，所述环形槽通过真空吸附住透明板，所述限位盘在台阶面朝下为容纳坑。

5.根据权利要求1所述的软膜限定机构，其特征在于：当软膜不受除重力之外的外力时，所述容纳坑的竖向投影面积为软膜的竖向投影面积的1.05至1.1倍。

6.根据权利要求1所述的软膜限定机构，其特征在于：当软膜不受除重力之外的外力时，所述托盘的竖向投影面积等于软膜的竖向投影面积。

7.根据权利要求2所述的软膜限定机构，其特征在于：所述工作台上设有第二水平滑轨，所述第二水平滑轨与第一水平滑轨长度方向相互垂直，所述第二水平滑轨上活动连接有滑动板，所述滑动板上沿平行于第二水平滑轨的长度方向上依次设有若干个形状不同的洞口。

8.根据权利要求7所述的软膜限定机构，其特征在于：所述洞口包括口部呈圆形的第一洞口，还包括口部呈矩形的第二洞口。

9.根据权利要求8所述的软膜限定机构，其特征在于：所述检视机构包括位于滑动板上的显微镜，所述显微镜的朝向方向穿过第一洞口或第二洞口。