[实用新型]一种软膜限定机构

说明书

本实用新型公开了一种软膜限定机构，包括压紧机构，包括分别位于软膜上方、下方的限位盘、托盘，限位盘的底部具备容纳软膜且开口向下的容纳坑；当软膜不受除重力之外的外力时，容纳坑的竖向投影面积大于的软膜的竖向投影面积，容纳坑的竖向投影轮廓与软膜的竖向投影轮廓形状相同，并且容纳坑的深度不小于软膜的厚度；容纳坑底部至限位盘的上表面之间为透明板，透明板与限位盘可拆卸地连接；活动机构，限位盘、托盘均具备竖向升降自由度，还具备沿同一水平方向的直线往复自由度；检视机构，限位盘的上方设有工作台，检视机构设置在工作台上。采用此实用新型能实现软膜的绷直，保证软膜尺寸精度，方便检视等工序。

技术领域

本实用新型涉及纳米压印设备领域，具体涉及一种软膜限定机构。

背景技术

纳米压印领域会应用到硅胶质地的软膜，软膜如果不受力，放任其自身自重等原因，则会发生形变，所以需要一种设备对软膜的状态进行限定，好在压印时抵消软膜的自身形态的不利形变。

实用新型内容

本实用新型要解决的问题在于提供一种，能实现软膜的绷直，保证软膜尺寸精度，方便检视等工序。

为解决上述问题，本实用新型提供一种，为达到上述目的，本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：

一种软膜限定机构，包括：压紧机构，包括分别位于软膜上方、下方的限位盘、托盘，限位盘的底部具备容纳软膜且开口向下的容纳坑；当软膜不受除重力之外的外力时，容纳坑的竖向投影面积大于的软膜的竖向投影面积，容纳坑的竖向投影轮廓与软膜的竖向投影轮廓形状相同，并且容纳坑的深度不小于软膜的厚度；容纳坑底部至限位盘的上表面之间为透明板，透明板与限位盘可拆卸地连接；活动机构，限位盘、托盘均具备竖向升降自由度，还具备沿同一水平方向的直线往复自由度；检视机构，限位盘的上方设有工作台，检视机构设置在工作台上。

采用上述技术方案的有益效果是：托盘承载软膜，限位盘、托盘相互靠近，将软膜夹在其中，通过竖向的挤压将原本自然松垮、收缩的软膜沿水平方向挤压，让软膜变得更加平整，软膜上各局部的尺寸关系更加精准。人员再从上往下透过透明板对软膜进行观察。透明板既实现物理挤压又不阻挡检视，同时透明板可拆，方便人员从上往下替换软膜等动作，方便现场操作。容纳坑的尺寸要保证进行对软膜进行水平方向上的限位，又为软膜撑大后预留一定的空间。限位盘、托盘的自由度一是实现软膜的挤压，也是方便限位盘、托盘的水平移位，让出人员操作空间，方便软膜的替换。

作为本实用新型的进一步改进，托盘的下方依次设有竖向气缸、水平直线模组，限位盘通过第一水平滑轨连接有工作台，第一水平滑轨的长度方向与水平直线模组运动方向平行。

采用上述技术方案的有益效果是：托盘具备竖向与水平运动的主动力，限位盘虽然没有水平方向的主动力，但是方便人员水平抽拉，好方便对软膜进行替换。

作为本实用新型的更进一步改进，限位盘的两侧分别设有与第一水平滑轨装配的升降气缸，容纳坑的竖向投影不与升降气缸重合。

采用上述技术方案的有益效果是：限位盘也可以竖向主动运动，搭配带有竖向气缸的托盘，限位盘、托盘可以相互挤压软膜，也可以微调软膜的上下位置，以适应与检视机构之间的焦距，方便上方对软膜进行检视。

作为本实用新型的又进一步改进，限位盘中具备水平的台阶面，限位盘在台阶面朝上具备容纳透明板的镂空部，镂空部的竖向投影面积大于容纳坑的竖向投影面积，台阶面上具备环形槽，环形槽通过真空吸附住透明板，限位盘在台阶面朝下为容纳坑。

采用上述技术方案的有益效果是：台阶面为透明板提供一圈承载面，也为环形槽提供了布置位置。

作为本实用新型的又进一步改进，当软膜不受除重力之外的外力时，容纳坑的竖向投影面积为软膜的竖向投影面积的1.05至1.1倍。