[实用新型]一种等离子体增强化学气相沉积装置

权利要求书

1.一种等离子体增强化学气相沉积装置，包括用于气相沉积的反应腔，所述反应腔上方的微波源反应器，所述反应腔中部设置有样品台，所述样品台设置在升降装置上，其特征在于，所述升降装置底端固定在密封板上，所述反应腔底端设置有样品台出入口，所述密封板设置在样品台出入口处，所述密封板底端固定在驱动板上，所述驱动板的左、右两侧设置有液压驱动装置，所述液压驱动装置包括伸缩杆，所述两侧的伸缩杆底端分别固定在驱动板侧面，所述驱动板下方设置有取样室，所述取样室的左右两侧分别设置有吹扫装置和吸附网，所述吸附网可拆卸的设置在取样室的侧壁上。

2.根据权利要求1所述的一种等离子体增强化学气相沉积装置，其特征在于，所述升降装置包括升降液压杆和升降液压缸，所述升降液压杆的顶端固定在样品台底端中部，所述升降液压杆的底端设置在升降液压缸的输出端，所述升降液压缸底座固定在密封板的上表面。

3.根据权利要求1所述的一种等离子体增强化学气相沉积装置，其特征在于，所述伸缩杆的顶端设置在伸缩液压缸的输出端，所述伸缩液压缸底座固定在样品台出入口两侧的反应腔的底部。

4.根据权利要求1所述的一种等离子体增强化学气相沉积装置，其特征在于，所述吹扫装置包括吹扫风机和吹扫管，所述吹扫管与吹扫风机相连通，所述吹扫风机固定在吹扫箱外部，所述吹扫管的出气孔对中样品台一侧。

5.根据权利要求1所述的一种等离子体增强化学气相沉积装置，其特征在于，所述驱动板左右两侧设置有导向杆，所述导向杆穿过驱动板竖直且平行设置。

6.根据权利要求5所述的一种等离子体增强化学气相沉积装置，其特征在于，所述导向杆顶端固定在反应腔底部，底部固定设置有限位块。

7.根据权利要求1所述的一种等离子体增强化学气相沉积装置，其特征在于，所述样品台出入口的一侧设置有挡板，所述挡板的一侧设置有推拉杆，所述推拉杆水平设置，所述推拉杆的外端固定在挡板侧面，所述推拉杆设置在推拉液压缸的输出端，所述推拉液压缸固定在反应腔侧面。

8.根据权利要求1所述的一种等离子体增强化学气相沉积装置，其特征在于，所述密封板的周围设置有密封条，所述密封板与样品台出入口可密封安装。