[实用新型]一种石墨舟卡点自动更换机有效
申请号: | 202020557654.5 | 申请日: | 2020-04-15 |
公开(公告)号: | CN211654788U | 公开(公告)日: | 2020-10-09 |
发明(设计)人: | 游玉成;华宁;於文轩 | 申请(专利权)人: | 盐城恒华智造科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/673 | 分类号: | H01L21/673;H01L31/18 |
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地址: | 224700 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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搜索关键词: | 一种 石墨 舟卡点 自动 更换 | ||
1.一种石墨舟卡点自动更换机,其特征在于:所述石墨舟卡点自动更换机包括有:底座、上围栏、震动盘供料装置、真空吸盘送料装置、气动压料装置、送料传动装置、压料传动装置、固定导向台、定位锁紧装置、移动送料台、限深装置以及电控装置。
2.根据权利要求1所述的石墨舟卡点自动更换机,其特征在于:底座上方设有上围栏和固定导向台,震动盘供料装置位于底座左侧,电控装置位于上围栏右侧,送料传动装置位于固定导向台上左侧,压料传动装置位于固定导向台上右侧。
3.根据权利要求1所述的石墨舟卡点自动更换机,其特征在于:固定导向台上设有平行的两根轨道,轨道上设有可滑动的滑块,真空吸盘送料装置、气动压料装置分别固定于滑块上。
4.根据权利要求1所述的石墨舟卡点自动更换机,其特征在于:送料传动装置和压料传动装置通过同步带带动滑块,使真空吸盘送料装置和气动压料装置在轨道上进行精确位移。
5.根据权利要求1所述的石墨舟卡点自动更换机,其特征在于:固定导向台下方设有移动送料台,移动送料台可向外侧平移,用于放置待更换卡点的石墨舟,移动送料台下方设有限深装置可以左右移动,卸旧卡点时,限深装置让位,方便旧卡点排出;装新卡点时,限深装置移动到孔位正下方,控制新卡点的压入深度。
6.根据权利要求1所述的石墨舟卡点自动更换机,其特征在于:固定导向台右侧设有定位锁紧装置,石墨舟放置在移动送料台上,送到固定导向台正下方,利用定位锁紧装置,使石墨舟上的卡点与固定导向台上的孔位对正、锁紧。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造