[实用新型]一种晶圆封装电镀铜的阳极盒

权利要求书

1.一种晶圆封装电镀铜的阳极盒，其特征在于，包括底座(1)，所述底座(1)的内部中间位置设置有安装柱(2)，所述安装柱(2)上且位于所述底座(1)内设置有钛板(3)，所述安装柱(2)上且位于所述钛板(3)的上方设置有阳极(4)，所述安装柱(2)上且位于所述阳极(4)的顶端设置有与其相配合的阳极布(5)，所述安装柱(2)上且位于所述阳极布(5)的顶端设置有螺母(6)，所述底座(1)的顶端设置有与其相配合的顶盖(7)，所述底座(1)的一侧开设有通孔(8)，所述通孔(8)内设置有驱动机构(9)，所述驱动机构(9)的一侧且位于所述底座(1)内设置有动力机构(10)；

其中，所述驱动机构(9)包括横向设置在所述通孔(8)内的连接机构(11)，所述连接机构(11)上设置有转动机构(12)，所述转动机构(12)上设置有清理机构(13)。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆封装电镀铜的阳极盒，其特征在于，所述动力机构(10)包括设置在所述底座(1)一侧的动力钮(1001)，所述动力钮(1001)的一侧且位于所述底座(1)内设置有动力轴(1002)，所述动力轴(1002)远离所述动力钮(1001)的一端设置有与所述连接机构(11)相配合的动力齿轮(1003)。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆封装电镀铜的阳极盒，其特征在于，所述连接机构(11)包括与所述动力齿轮(1003)相啮合的连接齿轮(1101)，所述连接齿轮(1101)的一侧设置有与所述转动机构(12)相配合的连接轴(1102)。

4.根据权利要求3所述的一种晶圆封装电镀铜的阳极盒，其特征在于，所述转动机构(12)包括套设在所述连接轴(1102)中间位置的套筒(1201)，所述套筒(1201)的两端且位于所述连接轴(1102)上对称设置有一组转动盘(1202)，所述套筒(1201)上开设有与所述清理机构(13)相配合的转动槽(1203)，所述转动槽(1203)与一个所述转动盘(1202)之间设置有固定架(1204)。

5.根据权利要求4所述的一种晶圆封装电镀铜的阳极盒，其特征在于，所述清理机构(13)包括设置在所述转动槽(1203)内的清理套管(1301)，所述清理套管(1301)内穿插设置有清理管(1302)，所述清理管(1302)上且位于所述清理套管(1301)的一端设置有清理架(1303)，所述清理管(1302)上且位于所述清理套管(1301)的另一端设置有连接盘(1304)，所述连接盘(1304)远离所述清理套管(1301)的一侧且位于所述清理管(1302)上设置有清理网(1305)，所述清理网(1305)的一端设置有限位盘(1306)。

6.根据权利要求5所述的一种晶圆封装电镀铜的阳极盒，其特征在于，所述清理网(1305)包括均匀设置的清理丝一(1307)和清理丝二(1308)，所述清理丝一(1307)所在平面与所述清理丝二(1308)所在平面所形成的夹角为直角，所述清理丝一(1307)与所述清理丝二(1308)之间连接形成的长方形区域内设置有清理布(1309)。