[实用新型]一种晶圆封装电镀铜的阳极盒有效
申请号: | 202020558749.9 | 申请日: | 2020-04-15 |
公开(公告)号: | CN212199456U | 公开(公告)日: | 2020-12-22 |
发明(设计)人: | 刘恒奎;谷建华 | 申请(专利权)人: | 江苏矽智半导体科技有限公司 |
主分类号: | C25D17/12 | 分类号: | C25D17/12;C25D7/12 |
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地址: | 226400 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 封装 镀铜 阳极 | ||
本实用新型公开了一种晶圆封装电镀铜的阳极盒,包括底座,所述底座的内部中间位置设置有安装柱,所述安装柱上且位于所述底座内设置有钛板,所述安装柱上且位于所述钛板的上方设置有阳极,所述安装柱上且位于所述阳极的顶端设置有与其相配合的阳极布,所述安装柱上且位于所述阳极布的顶端设置有螺母,所述底座的顶端设置有与其相配合的顶盖,所述底座的一侧开设有通孔,所述通孔内设置有驱动机构,所述驱动机构的一侧且位于所述底座内设置有动力机构;其中,所述驱动机构包括横向设置在所述通孔内的连接机构,所述连接机构上设置有转动机构。有益效果:从而能够将阳极泥进行很好的清理,进而便于工作人员的使用。
技术领域
本实用新型涉及晶圆封装电镀铜的阳极盒领域,具体来说,涉及一种晶圆封装电镀铜的阳极盒。
背景技术
镀铜是在电镀工业中使用最广泛的一种预镀层,包括锡焊件、铅锡合金、锌压铸件在镀镍、金、银之前都要镀铜,用于改善镀层结合力。铜镀层是重要的防护装饰性镀层铜/镍/铬体系的组成部分,柔韧而孔隙率低的铜镀层,对于提高镀层间的结合力和耐蚀性起重要作用。铜镀层还用于局部的防渗碳、印制板孔金属化,并作为印刷辊的表面层。经化学处理后的彩色铜层,涂上有机膜,还可用于装饰。目前使用最多的镀铜溶液是氰化物镀液、硫酸盐镀液和焦磷酸盐镀液。
现有的晶圆封装电镀铜的阳极盒通过设置上盖、阳极布、钛板等装置相配合,从而在具体的使用过程中,在阳极产生的阳极泥会存储在钛板与阳极之间,同时,需要通过将螺母取下将阳极布及阳极取下后,才能够将阳极泥进行清理,进而不方便工作人员的操作。
针对相关技术中的问题,目前尚未提出有效的解决方案。
实用新型内容
针对相关技术中的问题,本实用新型提出一种晶圆封装电镀铜的阳极盒,以克服现有相关技术所存在的上述技术问题。
为此,本实用新型采用的具体技术方案如下:
一种晶圆封装电镀铜的阳极盒,包括底座,底座的内部中间位置设置有安装柱,安装柱上且位于底座内设置有钛板,安装柱上且位于钛板的上方设置有阳极,安装柱上且位于阳极的顶端设置有与其相配合的阳极布,安装柱上且位于阳极布的顶端设置有螺母,底座的顶端设置有与其相配合的顶盖,底座的一侧开设有通孔,通孔内设置有驱动机构,驱动机构的一侧且位于底座内设置有动力机构;其中,驱动机构包括横向设置在通孔内的连接机构,连接机构上设置有转动机构,转动机构上设置有清理机构。
进一步的,为了为清理阳极泥提供动力,从而通过设置动力机构,动力机构包括设置在底座一侧的动力钮,动力钮的一侧且位于底座内设置有动力轴,动力轴远离动力钮的一端设置有与连接机构相配合的动力齿轮。
进一步的,为了可与动力机构相配合为清理阳极泥提供动力,从而通过设置连接机构,连接机构包括与动力齿轮相啮合的连接齿轮,连接齿轮的一侧设置有与转动机构相配合的连接轴。
进一步的,为了可为清理机构的安装提供空间,从而通过设置转动机构,转动机构包括套设在连接轴中间位置的套筒,套筒的两端且位于连接轴上对称设置有一组转动盘,套筒上开设有与清理机构相配合的转动槽,转动槽与一个转动盘之间设置有固定架。
进一步的,为了可将阳极泥进行清理,从而通过设置清理机构,清理机构包括设置在转动槽内的清理套管,清理套管内穿插设置有清理管,清理管上且位于清理套管的一端设置有清理架,清理管上且位于清理套管的另一端设置有连接盘,连接盘远离清理套管的一侧且位于清理管上设置有清理网,清理网的一端设置有限位盘。
进一步的,为了可更好的对阳极泥进行清理,从而通过设置清理网,清理网包括均匀设置的清理丝一和清理丝二,清理丝一所在平面与清理丝二所在平面所形成的夹角为直角,清理丝一与清理丝二之间连接形成的长方形区域内设置有清理布。
本实用新型的有益效果为:
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