[实用新型]一种物料管理装置

权利要求书

1.一种物料管理装置，其特征在于，包括：

多个第一感测器，包括一接收器与一发射器，多个第一料品容置器、多个第二料品容置器与多个第三料品容置器皆包含一壳体，且内部皆容置一特定料品，且所述接收器与所述发射器设置于所述壳体内表面；

所述接收器用以侦测所述多个第一料品容置器、所述多个第二料品容置器与所述多个第三料品容置器内所容置的特定料品液面，当任一特定料品液面接近或等于欲定义的换料液面准位时，所述发射器即发出一警示通知。

2.根据权利要求1所述的物料管理装置，其特征在于，所述第一料品容置器所容置的特定料品，为下列任一者：化学流体抛光液、一化学液体、一化学研磨液。

3.根据权利要求1所述的物料管理装置，其特征在于，所述第二料品容置器容置有一特用气体，所述特用气体为SiH₄、NH₃、B₂H₆、H₂、CF₄、CHF₃、O₂、SF₆任一者。

4.根据权利要求1所述的物料管理装置，其特征在于，所述第三料品容置器所容置的特定料品为下列任一者：一化学研磨液、一相关耗用材料、一O型环、一垫片、一研磨液滤材。

5.根据权利要求1所述的物料管理装置，其特征在于，所述第二料品容置器，包含一第一控制阀，所述第二料品容置器上端连接一开关，侧边连接一第一出气管，所述第一出气管一端与所述第二料品容置器连接，且依序设置有一压力表与一第二控制阀，于所述压力表与所述第二控制阀之间连接一第二出气管，所述第二出气管上设置有一第三控制阀。

6.根据权利要求5所述的物料管理装置，其特征在于，所述第二出气管连接一抽气装置。

7.根据权利要求1所述的物料管理装置，其特征在于，所述多个第一料品容置器、所述多个第二料品容置器与所述多个第三料品容置器上设置一料品信息标签。

8.根据权利要求1所述的物料管理装置，其特征在于，更包括一第二感测器，用以感测所述多个第一料品容置器、所述多个第二料品容置器与所述多个第三料品容置器内所容置的所述特定料品是否正由一特定机器设备使用中。