[实用新型]一种真空镀膜机用减压装置有效
| 申请号： | 202020571494.X | 申请日： | 2020-04-17 |
| 公开（公告）号： | CN212560415U | 公开（公告）日： | 2021-02-19 |
| 发明（设计）人： | 骆海伟 | 申请（专利权）人： | 东莞市伟信真空服务有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/22 | 分类号： | C23C14/22;C23C14/54 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 523820 广东省东莞*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 真空镀膜 减压 装置 | ||
1.一种真空镀膜机用减压装置，包括减压腔（4）与气压腔（1）和气压泵（3），其特征在于：所述气压腔（1）置于所述减压腔（4）的顶部，所述气压腔（1）的顶部设置有连接管（2），所述气压泵（3）置于所述连接管（2）的一侧，所述减压腔（4）的两侧设置有减压泵（5），所述减压腔（4）的底部设置有连接螺纹管（6）。
2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机用减压装置，其特征在于：所述气压腔（1）与所述气压泵（3）管道连接，所述气压泵（3）的一侧设置有控制开关。
3.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机用减压装置，其特征在于：所述减压腔（4）的底部开设有多组冲击板（8），所述减压腔（4）为圆柱状。
4.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机用减压装置，其特征在于：所述减压腔（4）与所述气压腔（1）均采用不锈钢材质，所述减压腔（4）与所述气压腔（1）内壁与外壁均涂覆有防腐蚀层。
5.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机用减压装置，其特征在于：所述减压腔（4）内设置有气压管（7），所述气压管（7）与所述减压泵（5）管道连接，所述气压管（7）上安装有旋转调节板（9），所述旋转调节板（9）的上方设置有安装板（10），所述安装板（10）的上方设置有多组导气管（11）。
6.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机用减压装置，其特征在于：所述连接螺纹管（6）与所述减压腔（4）的底部固定焊接，所述连接螺纹管（6）采用不锈钢材质。
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