[实用新型]一种蒸发均匀的分体式坩埚有效
| 申请号： | 202020578962.6 | 申请日： | 2020-04-17 |
| 公开（公告）号： | CN212925147U | 公开（公告）日： | 2021-04-09 |
| 发明（设计）人： | 刘汝强;王殿春;孙蕾;吴思华 | 申请（专利权）人： | 山东国晶新材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 济南金迪知识产权代理有限公司 37219 | 代理人： | 赵龙群 |
| 地址： | 251200 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 蒸发 均匀 体式 坩埚 | ||
【权利要求书】：
1.一种蒸发均匀的分体式坩埚，其特征在于：包括盛料埚，盛料埚包括上部分和下部分，上部分直径大于下部分直径；所述上部分内腔由上到下设置有气体分散埚和气体集中埚；气体分散埚整体呈圆柱形，上端为敞开面，底部有进气孔；气体集中埚整体呈圆柱形，下端为敞开面，顶部有出气孔；所述进气孔与出气孔相对应。
2.根据权利要求1所述的蒸发均匀的分体式坩埚，其特征在于：所述进气孔直径大于出气孔直径。
3.根据权利要求1所述的蒸发均匀的分体式坩埚，其特征在于：所述盛料埚上端设置有外延台。
4.根据权利要求1所述的蒸发均匀的分体式坩埚，其特征在于：所述气体集中埚的高度小于气体分散埚。
5.根据权利要求1所述的蒸发均匀的分体式坩埚，其特征在于：所述气体集中埚的高度等于气体分散埚。
6.根据权利要求1所述的蒸发均匀的分体式坩埚，其特征在于：盛料埚的轴向长度大于盛料埚的径向长度。
7.根据权利要求1所述的蒸发均匀的分体式坩埚，其特征在于：所述上部分高度小于下部分的高度。
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