[实用新型]一种等离子清洗刻蚀箱体

权利要求书

1.一种等离子清洗刻蚀箱体，其特征在于：包括箱体(1)，箱体(1)一侧有排气口，排气口通过管道与抽空系统连接，箱体(1)内等距分布着若干固定在电极板固定架(3)上的电极板(2)，所述电极板(2)为栅栏式通水电极板，

所述电极板(2)由若干内部中空的铝条拼装焊接而成，铝条中间形成至少一个缺口；

所述电极板(2)一侧分布有第一进水口(4)与第二出水口(5)，并分别与匀水分流装置(6)相连接；

所述电极板(2)上方固定有连接电极导电机构(7)的电极连接块(8)，电极导电机构(7)通过电极连接块(8)与电极板(2)相连，相邻两块极板分别与阴阳两极导电机构相通，电极导电机构(7)外部通过绝缘材料、密封件与箱体(1)隔绝，并与电极连接块(8)连接，外接功率电源。

2.根据权利要求1所述的一种等离子清洗刻蚀箱体，其特征在于：所述铝条中间形成方形孔位，至少包括一个长方形孔位沿电极主体排布设置，铝条中空部分为运水通道，电极板(2)分布有若干横向与若干纵向运水通道，横向与纵向运水通道相通，形成单向运水通道。

3.根据权利要求1所述的一种等离子清洗刻蚀箱体，其特征在于：所述匀水分流装置(6)固定于电极板(2)一侧分别与电极板第一进水口(4)和第二出水口(5)连接，由内外双层铝管、进水口、若干分水口构成，与外部进出水相通，通过绝缘材料与箱体绝缘，外部来水由进水口压入内层管路，内层管路水溢满后，通过散水孔均匀分散至外层管路内，然后通过分水口进入电极板，在电极板出水口流入匀水分流装置(6)。

4.根据权利要求1所述的一种等离子清洗刻蚀箱体，其特征在于：外部进出水机构(10)通过绝缘材料(11)与焊接在箱体(1)上的连接件通过密封件(12)连接进箱体(1)内部，且与匀水分流装置(6)相通。

5.根据权利要求1所述的一种等离子清洗刻蚀箱体，其特征在于：所述箱体(1)的一侧设有合页(9)，合页(9)固定于箱体(1)框架与门板上，通过主轴连接箱体(1)一侧固定块，可根据门板与箱体间距做活动调节，保证箱体密封效果。