[实用新型]一种等离子清洗刻蚀箱体

说明书

本实用新型公开了一种等离子清洗刻蚀箱体，包括箱体，本实用新型通过电极板、匀水分流机构的配合，保证了电极板内水量一致，进而使箱体内极板各处温度差异最小化，有利于工艺气体的充分电离，通透性的电极板，保证了电离气体在箱体内的充分流动性，加快了产品处理效率，将电极板整体固定于箱体内，在日后维护时可快速更换整套电极板，提高了工作效率。

技术领域

本实用新型涉及等离子处理技术领域，特别涉及一种等离子清洗刻蚀箱体。

背景技术

随着科技的发展，等离子清洗现大量应用于线路板钻孔后孔内除胶工序，传统的湿法除胶工艺已经不能满足现有电路板小孔径、盲孔等工艺要求，同时产品加工后常有残留胶渣，所以等离子清洗的干式制程受到瞩目。

传统等离子清洗刻蚀箱体电极板采用平板式工艺，能量利用率低，不利于工艺气体的充分电离反应，电极板与电极板之间存在阻挡不利于离子体在空间内的运动，去轰击残留焦渣。不同电极板温度差异较大，使得产品处理时间加长，产品良率较低，已经不符合当前经济发展的新态势。

发明内容

为了克服上述缺陷，本实用新型提供了一种等离子清洗刻蚀箱体，能够减少电极板温度差异，提高处理效率。

本实用新型为了解决其技术问题所采用的技术方案是：一种等离子清洗刻蚀箱体，包括箱体，箱体一侧有排气口，排气口通过管道与抽空系统连接，箱体内等距分布着若干固定在电极板固定架上的栅栏式通水电极板，

所述栅栏式通水电极板由若干内部中空的铝条拼装焊接而成，铝条中间形成至少一个缺口，

所述栅栏式通水电极板一侧分布有第一进水口与第二出水口，并分别与匀水分流装置相连接；

所述栅栏式通水电极板上方固定有连接电极导电机构的电极连接块，电极导电机构通过电极连接块与电极板相连，相邻两块极板分别与阴阳两极导电机构相通，导电机构外部通过绝缘材料、密封件与箱体隔绝，并与箱体连接件连接，外接功率电源。

作为本实用新型的进一步改进，所述铝条中间形成方形孔位，至少包括一个长方形孔位沿电极主体排布设置，铝条中空部分为运水通道，电极主体分布有若干横向与若干纵向运水通道，横向与纵向运水通道相通，形成单向运水通道。

作为本实用新型的进一步改进，所述匀水分流装置固定于电极板一侧分别与电极板第一进水口和第二出水口相连接，由内外双层铝管、进水口、若干分水口构成，与外部进出水相通，通过绝缘材料与箱体绝缘，外部来水由进水口压入内层管路，内层管路水溢满后，通过散水孔均匀分散至外层管路内，然后通过出水口进入电极板，在电极板出水口流入回水分流装置。

作为本实用新型的进一步改进，外部进出水机构通过绝缘材料与焊接在箱体上的连接件通过密封件连接进箱体内部，且与匀水分流装置相通。

所述箱体的一侧设有合页，合页固定于箱体框架与门板上，通过主轴连接，箱体一侧固定块可根据门板与箱体间距做活动调节，保证箱体密封效果。

本实用新型的有益效果是：本实用新型通过电极板、匀水分流机构的配合，保证了电极板内水量一致，进而使箱体内极板各处温度差异最小化，有利于工艺气体的充分电离。通透性的电极板，保证了电离气体在箱体内的充分流动性，加快了产品处理效率，将电极板整体固定于箱体内，在日后维护时可快速更换整套电极板，提高了工作效率。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图；

图2 为箱体内部结构示意图；

图中标示：1-箱体；2-电极板；3-电极板固定架；4-第一进水口；5-第二出水口；6-匀水分流装置；7-电极导电机构；8-电极连接块；9-合页；10-外部进出水机构；11-绝缘材料；12-密封件。

具体实施方式