[实用新型]接着后晶棒接着力测试用晶棒夹持装置有效
申请号: | 202020598936.X | 申请日: | 2020-04-20 |
公开(公告)号: | CN212426245U | 公开(公告)日: | 2021-01-29 |
发明(设计)人: | 赵延祥;刘波;程博;马玉怀 | 申请(专利权)人: | 宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司 |
主分类号: | C30B35/00 | 分类号: | C30B35/00;C30B29/06;B25B11/00;G01N19/04 |
代理公司: | 宁夏合天律师事务所 64103 | 代理人: | 孙彦虎 |
地址: | 750021 宁夏回*** | 国省代码: | 宁夏;64 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 接着 后晶棒 测试 用晶棒 夹持 装置 | ||
1.一种接着后晶棒接着力测试用晶棒夹持装置,其特征在于:包括可调节夹持机构、固定连接板、牵拉连接件,固定连接板位于定位件的上部,可调节夹持结构安装在固定连接板的下部表面,并且可调节夹持结构能够沿固定连接板的下部表面相对滑动,牵拉连接件固定设置在固定连接板的上部表面,牵拉连接件的顶部与牵引绳固定连接。
2.根据权利要求1所述的接着后晶棒接着力测试用晶棒夹持装置,其特征在于:所述可调节夹持机构包括夹持爪部件、进给部件,夹持爪部件的顶部与固定连接板的下部表面相连接,并且夹持爪部件的顶部能够沿固定连接板的下部表面相对滑动,进给部件穿过夹持爪部件的上部,并与夹持爪部件丝杠连接。
3.根据权利要求2所述的接着后晶棒接着力测试用晶棒夹持装置,其特征在于:所述夹持爪部件包括左部夹持爪、右部夹持爪,左部夹持爪、右部夹持爪对向安装在固定连接板的下部,右部夹持爪的上部依次等距安装有两个固定块,两个固定块的下部与右部夹持爪可拆卸连接,两个固定块的顶部与固定连接板的下部表面固定连接,左部夹持爪的上部依次等距安装有两个滑动块,两个滑动块的下部与左部夹持爪可拆卸连接,两个滑动块的顶部与固定连接板的下部表面滑动连接。
4.根据权利要求2所述的接着后晶棒接着力测试用晶棒夹持装置,其特征在于:所述进给部件包括主动进给杆、从动进给杆,主动进给杆与从动进给杆并排设置,并且主动进给杆与从动进给杆通过链条连接,主动进给杆的一端固定设置有主动链轮,主动进给杆的另一端依次穿过滑动块、固定块,主动进给杆与滑动块丝杆连接,主动进给杆远离主动链轮的一端与固定块通过轴承连接,从动进给杆的一端固定设置有从动链轮,从动进给杆的另一端依次穿过滑动块、固定块,从动进给杆与滑动块丝杆连接,从动进给杆远离从动链轮的一端与固定块通过轴承连接。
5.根据权利要求3所述的接着后晶棒接着力测试用晶棒夹持装置,其特征在于:所述滑动块的顶部固定设置有滑动条,滑动条与固定连接板的下部表面上设有的引导滑槽尺寸相匹配,并且滑动条能够沿引导滑槽相对滑动。
6.根据权利要求3所述的接着后晶棒接着力测试用晶棒夹持装置,其特征在于:所述左部夹持爪、右部夹持爪呈半圆弧状。
7.根据权利要求1所述的接着后晶棒接着力测试用晶棒夹持装置,其特征在于:该接着后晶棒接着力测试用晶棒夹持装置还包括定位件,所述定位件通过螺栓固定在工作台的台面上,定位件的上部表面开设有定位槽,定位槽的尺寸与粘接后的晶棒下部尺寸相匹配,以使粘接后的晶棒下部能够卡入到定位槽中。
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