[实用新型]接着后晶棒接着力测试用晶棒夹持装置

说明书

一种接着后晶棒接着力测试用晶棒夹持装置，包括可调节夹持机构、固定连接板、牵拉连接件，固定连接板位于定位件的上部，可调节夹持结构安装在固定连接板的下部表面，并且可调节夹持结构能够沿固定连接板的下部表面相对滑动，牵拉连接件固定设置在固定连接板的上部表面，牵拉连接件的顶部与牵引绳固定连接；本实用新型依照晶棒接着后的形状制作夹持装置，通过夹持装置将晶棒牢固夹持锁死，通过将定位件固定在工作台面上，可以使接着后晶棒下部粘接的工件板卡入到定位件中，从而将接着后晶棒进行定位，防止晶棒在接着力测量时上下移动。

技术领域

本实用新型涉及单晶硅生产设备技术领域，尤其涉及一种接着后晶棒接着力测试用晶棒夹持装置。

背景技术

晶圆在切片之前要对晶棒的晶向进行校准，校准完成后再使用接着剂将树脂条，晶棒，工件板粘接到一起，在接着后，需要保证接着剂的结合力达到要求，确保对接着后晶棒进行切片过程中不出现掉棒。所以接着后晶棒进行测量时，为保证检测结果更加准确，就需要将接着后晶棒牢固锁定。

发明内容

有鉴于此，有必要提供一种接着后晶棒接着力测试用晶棒夹持装置。

一种接着后晶棒接着力测试用晶棒夹持装置，包括可调节夹持机构、固定连接板、牵拉连接件，固定连接板位于定位件的上部，可调节夹持结构安装在固定连接板的下部表面，并且可调节夹持结构能够沿固定连接板的下部表面相对滑动，牵拉连接件固定设置在固定连接板的上部表面，牵拉连接件的顶部与牵引绳固定连接。

优选的，所述可调节夹持机构包括夹持爪部件、进给部件，夹持爪部件的顶部与固定连接板的下部表面相连接，并且夹持爪部件的顶部能够沿固定连接板的下部表面相对滑动，进给部件穿过夹持爪部件的上部，并与夹持爪部件丝杠连接。

优选的，所述夹持爪部件包括左部夹持爪、右部夹持爪，左部夹持爪、右部夹持爪对向安装在固定连接板的下部，右部夹持爪的上部依次等距安装有两个固定块，两个固定块的下部与右部夹持爪可拆卸连接，两个固定块的顶部与固定连接板的下部表面固定连接，左部夹持爪的上部依次等距安装有两个滑动块，两个滑动块的下部与左部夹持爪可拆卸连接，两个滑动块的顶部与固定连接板的下部表面滑动连接。

优选的，所述进给部件包括主动进给杆、从动进给杆，主动进给杆与从动进给杆并排设置，并且主动进给杆与从动进给杆通过链条连接，主动进给杆的一端固定设置有主动链轮，主动进给杆的另一端依次穿过滑动块、固定块，主动进给杆与滑动块丝杆连接，主动进给杆远离主动链轮的一端与固定块通过轴承连接，从动进给杆的一端固定设置有从动链轮，从动进给杆的另一端依次穿过滑动块、固定块，从动进给杆与滑动块丝杆连接，从动进给杆远离从动链轮的一端与固定块通过轴承连接。

优选的，所述滑动块的顶部固定设置有滑动条，滑动条与固定连接板的下部表面上设有的引导滑槽尺寸相匹配，并且滑动条能够沿引导滑槽相对滑动。

优选的，所述左部夹持爪、右部夹持爪呈半圆弧状。

优选的，还包括定位件，所述定位件通过螺栓固定在工作台的台面上，定位件的上部表面开设有定位槽，定位槽的尺寸与粘接后的晶棒下部尺寸相匹配，以使粘接后的晶棒下部能够卡入到定位槽中。

本实用新型采用上述技术方案，其有益效果在于：本实用新型包括可调节夹持机构、固定连接板、牵拉连接件，固定连接板位于定位件的上部，可调节夹持结构安装在固定连接板的下部表面，并且可调节夹持结构能够沿固定连接板的下部表面相对滑动，牵拉连接件固定设置在固定连接板的上部表面，牵拉连接件的顶部与牵引绳固定连接；本实用新型依照晶棒接着后的形状制作夹持装置，通过夹持装置将晶棒牢固夹持锁死，通过将定位件固定在工作台面上，可以使接着后晶棒下部粘接的工件板卡入到定位件中，从而将接着后晶棒进行定位，防止晶棒在接着力测量时上下移动。

附图说明

图1为本实用新型夹持装置与接着后晶棒连接的结构示意图。