[实用新型]膜厚的检测装置

权利要求书

1.一种膜厚的检测装置，其特征在于，包括：

检出结构，包括检出电极；

共通电极，与所述检出电极在第一方向上相对且间隔设置，所述检出结构和所述共通电极之间的间距为预定间距；

介质部，位于所述检出电极和所述共通电极之间，且所述介质部位于所述检出结构的表面上和/或位于所述共通电极的表面上，所述介质部的厚度小于所述预定间距，所述介质部用于增加所述检出电极和所述共通电极之间的介电常数。

2.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述检出结构还包括多个所述检出电极，多个所述检出电极至少沿第二方向依次排列设置，所述第二方向分别与所述第一方向以及待测物体的移动方向垂直，所述介质部在所述第二方向上的长度大于或者等于多个所述检出电极在所述第二方向上的总长度。

3.根据权利要求2所述的检测装置，其特征在于，所述介质部位于所述共通电极的靠近所述检出电极的表面上。

4.根据权利要求3所述的检测装置，其特征在于，所述共通电极为圆柱体电极，所述圆柱体电极的轴向与所述第二方向平行。

5.根据权利要求4所述的检测装置，其特征在于，所述介质部围设在所述共通电极的外周。

6.根据权利要求5所述的检测装置，其特征在于，所述介质部的厚度大于或者等于所述共通电极的半径。

7.根据权利要求5所述的检测装置，其特征在于，所述共通电极可转动，所述介质部的材料为醚类聚氨酯、特氟龙或硅胶。

8.根据权利要求2所述的检测装置，其特征在于，所述检出结构还包括：

框体，具有容纳腔；

线路板，位于所述容纳腔内；

多个沿所述第二方向依次排列的静电感应芯片，各所述静电感应芯片位于所述线路板的靠近所述共通电极一侧的表面上，各所述静电感应芯片包括多个沿所述第二方向依次排列的所述检出电极；

检出电路，位于所述容纳腔内且位于所述线路板的远离所述静电感应芯片的一侧表面上。

9.根据权利要求8所述的检测装置，其特征在于，所述介质部位于所述框体的靠近所述共通电极的一侧表面上和/或所述检出电极的靠近所述共通电极的一侧表面上。

10.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述介质部的材料为导电材料。