[实用新型]膜厚的检测装置有效

专利信息
申请号: 202020599477.7 申请日: 2020-04-20
公开(公告)号: CN211696232U 公开(公告)日: 2020-10-16
发明(设计)人: 戚务昌;宋荣鑫;张凯;曲涛;林永辉;姜利 申请(专利权)人: 威海华菱光电股份有限公司
主分类号: G01B7/06 分类号: G01B7/06
代理公司: 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 代理人: 霍文娟
地址: 264209 山东省威海*** 国省代码: 山东;37
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摘要:
搜索关键词: 检测 装置
【说明书】:

本申请提供了一种膜厚的检测装置,该装置包括:检出结构,包括检出电极;共通电极,与检出电极在第一方向上相对且间隔设置,检出结构和共通电极之间的间距为预定间距;介质部,位于检出电极和共通电极之间,且介质部位于检出结构的表面上和/或位于共通电极的表面上,介质部的厚度小于预定间距,介质部用于增加检出电极和共通电极之间的介电常数。通过在检出电极和共通电极之间设置介质部,由于介质部增加了检出电极与共通电极之间的介电常数,即改善了检出电极与共通电极之间的导电特性,使得该检测装置具有较高的检测灵敏度与精度。

技术领域

本申请涉及膜厚检测领域,具体而言,涉及一种膜厚的检测装置。

背景技术

现有的薄膜厚度检测装置,是利用静电荷感应的原理来检测薄膜厚度的,这种薄膜厚度检测装置包括共通电极、检出电极以及检出电路,共通电极与检出电极在第一方向上相对设置,间隔一定距离形成间隙均一的待测物体的通道。

现有的薄膜厚度检测装置工作时,在共通电极上施加脉冲信号,检出电极上就会感应出电压信号,当待检测的薄膜从检出电极上方通过时,检出电极上的电压就会发生变化,电压的变化大小与所通过物体的性质和厚度有关,由于检出电路与检出电极电连接,并且检出电路的电路结构能够将获得的电压变化值转变成待检测薄膜的厚度,因此,检出装置能够检测出该薄膜的厚度,进而得出薄膜的厚度是否异常,其表面是否有异物、缺损或者折叠。

上述现有的薄膜厚度检测装置存在如下问题:为了提高薄膜厚度检测装置的检测感度,必须使共通电极与检出电极形成的检测通道的间距尽量减小,然而距离过小使得薄膜不容易从检测通道中通过,在薄膜扫描过程中尤其时连续扫描过程中很容易卡膜,因而限制了此类薄膜厚度检测装置的实际应用。具体地,薄膜包括纸币、普通纸张以及其他薄膜等。

在背景技术部分中公开的以上信息只是用来加强对本文所描述技术的背景技术的理解,因此,背景技术中可能包含某些信息,这些信息对于本领域技术人员来说并未形成在本国已知的现有技术。

实用新型内容

本申请的主要目的在于提供一种膜厚的检测装置,以解决现有技术中的检测装置难以在不减小检测通道的宽度的情况下提高检测感度的问题。

为了实现上述目的,根据本申请的一个方面,提供了一种膜厚的检测装置,包括:检出结构,包括检出电极;共通电极,与所述检出电极在第一方向上相对且间隔设置,所述检出结构和所述共通电极之间的间距为预定间距;介质部,位于所述检出电极和所述共通电极之间,且所述介质部位于所述检出结构的表面上和/或位于所述共通电极的表面上,所述介质部的厚度小于所述预定间距,所述介质部用于增加所述检出电极和所述共通电极之间的介电常数。

进一步地,所述检出结构还包括多个所述检出电极,多个所述检出电极至少沿第二方向依次排列设置,所述第二方向分别与所述第一方向以及待测物体的移动方向垂直,所述介质部在所述第二方向上的长度大于或者等于多个所述检出电极在所述第二方向上的总长度。

进一步地,所述介质部位于所述共通电极的靠近所述检出电极的表面上。

进一步地,所述共通电极为圆柱体电极,所述圆柱体电极的轴向与所述第二方向平行。

进一步地,所述介质部围设在所述共通电极的外周。

进一步地,所述介质部的厚度大于或者等于所述共通电极的半径。

进一步地,所述共通电极可转动,所述介质部的材料为醚类聚氨酯、特氟龙或硅胶。

进一步地,所述检出结构还包括:框体,具有容纳腔;线路板,位于所述容纳腔内;多个沿所述第二方向依次排列的静电感应芯片,各所述静电感应芯片位于所述线路板的靠近所述共通电极一侧的表面上,各所述静电感应芯片包括多个沿所述第二方向依次排列的所述检出电极;检出电路,位于所述容纳腔内且位于所述线路板的远离所述静电感应芯片的一侧表面上。

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