[实用新型]一种可优化真空镀膜基板温度的冷水板装置

权利要求书

1.一种可优化真空镀膜基板温度的冷水板装置，包括设于镀膜箱体(11)内的冷却水管安装底板(1)、与冷却水管安装底板(1)拼装的防污板(2)以及设于所述冷却水管安装底板(1)与防污板(2)之间输送冷却水的冷却水管(3)，其特征在于：所述冷却水管安装底板(1)上设有供所述冷却水管(3)镶嵌于其中的槽(4)。

2.根据权利要求1所述的一种可优化真空镀膜基板温度的冷水板装置，其特征在于：所述冷却水管(3)为均匀排布的盘式管体，所述槽(4)为以冷却水管(3)的盘式走线设计的燕尾槽，所述燕尾槽的槽宽略大于冷却水管(3)，使冷却水管(3)能完全嵌入槽(4)中。

3.根据权利要求2所述的一种可优化真空镀膜基板温度的冷水板装置，其特征在于：所述冷却水管(3)具有供冷却水流入的进水端(9)和供冷却水流出的出水端(10)，所述冷却水管(3)的进水端(9)与出水端(10)设有连接法兰(5)。

4.根据权利要求3所述的一种可优化真空镀膜基板温度的冷水板装置，其特征在于：所述冷却水管安装底板(1)、冷却水管(3)以及防污板(2)均使用紫铜材料。

5.根据权利要求4所述的一种可优化真空镀膜基板温度的冷水板装置，其特征在于：所述进水端(9)和出水端(10)平行且同向伸出冷却水管安装底板(1)。

6.根据权利要求5所述的一种可优化真空镀膜基板温度的冷水板装置，其特征在于：所述冷却水管安装底板(1)的一边缘上开有供冷却水管(3)进水端(9)与出水端(10)伸出的让位凹槽(8)。

7.根据权利要求6所述的一种可优化真空镀膜基板温度的冷水板装置，其特征在于：所述冷却水管安装底板(1)与防污板(2)大小相同且均为矩形板。

8.根据权利要求7所述的一种可优化真空镀膜基板温度的冷水板装置，其特征在于：所述冷却水管安装底板(1)与防污板(2)的对应位置上设有若干连接孔(6)，所述冷却水管安装底板(1)与防污板(2)通过密封圈(7)和螺栓螺母穿过连接孔(6)连接在需冷却的镀膜箱体内。