[实用新型]一种可优化真空镀膜基板温度的冷水板装置

说明书

本实用新型涉及真空镀膜基板温度冷却的技术领域，尤其涉及一种可优化真空镀膜基板温度的冷水板装置。包括设于镀膜箱体内的冷却水管安装底板、与冷却水管安装底板拼装的防污板以及设于所述冷却水管安装底板与防污板之间输送冷却水的冷却水管，其特征在于：所述冷却水管安装底板上设有供所述冷却水管镶嵌于其中的槽，盘式走线设计的冷却水管镶嵌在冷却水管安装底板的槽上，增大了冷却水管与冷却水管安装底板的接触面积，结构精巧紧凑，达到快速导热的功能，提高冷却效果，使得真空镀膜基板温度的冷却效率加快，从而减少生产节拍时间，节约整体设备能耗。

【技术领域】

本实用新型涉及真空镀膜的技术领域，尤其涉及一种可优化真空镀膜基板温度的冷水板装置。

【背景技术】

在真空镀膜过程中，在等离子体的长期轰击下，在溅射区域及其附近的阳极罩、箱体内部和基板会不断升高温度，同时阳极罩和箱体内部的温度的提高又会进一步对基板产生加热的效果，这对于某些要求在镀膜温度较低的环境下镀膜的基板就很不合适(比如柔性基材或者不耐高温的其他基材)，温度过高会使镀膜材质或镀膜膜层发生变质或损坏，因此需要一种能达到降低基板温度目的的冷却装置。

现有技术CN 209722284 U中采用的冷却装置是不锈钢冷水管装置，由多层不锈钢薄板组成，不锈钢薄板中间均匀排布的冷却水管，但不锈钢薄板与冷却水管仅以线接触的形式组装而成，从而使导热面积小，导热速度慢，导致基板散热速度慢，生产效率低，同时单位时间内设备的能耗利用率低。

【实用新型内容】

本实用新型针对现有冷水管装置中导热面积小，导热速度慢，导致基板散热速度慢，致使生产效率低，浪费能源的问题。

本实用新型解决上述技术问题采用的技术方案是：

一种可优化真空镀膜基板温度的冷水板装置，包括设于镀膜箱体内的冷却水管安装底板、与冷却水管安装底板拼装的防污板以及设于所述冷却水管安装底板与防污板之间输送冷却水的冷却水管，其特征在于：所述冷却水管安装底板上设有供所述冷却水管镶嵌于其中的槽。

如上所述一种可优化真空镀膜基板温度的冷水板装置，所述冷却水管为均匀排布的盘式管体，所述槽为以冷却水管的盘式走线设计的燕尾槽，所述燕尾槽的槽宽略大于冷却水管，使冷却水管能完全嵌入槽中。

如上所述一种可优化真空镀膜基板温度的冷水板装置，所述冷却水管具有供冷却水流入的进水端和供冷却水流出的出水端，所述冷却水管的进水端与出水端设有连接法兰。

如上所述一种可优化真空镀膜基板温度的冷水板装置，所述冷却水管安装底板、冷却水管以及防污板均使用紫铜材料。

如上所述一种可优化真空镀膜基板温度的冷水板装置，所述进水端和出水端平行且同向伸出冷却水管安装底板。

如上所述一种可优化真空镀膜基板温度的冷水板装置，所述冷却水管安装底板的一边缘上开有供冷却水管进水端与出水端伸出的让位凹槽。

如上所述一种可优化真空镀膜基板温度的冷水板装置，所述冷却水管安装底板与防污板大小相同且均为矩形板。

如上所述一种可优化真空镀膜基板温度的冷水板装置，所述冷却水管安装底板与防污板的对应位置上设有若干连接孔，所述冷却水管安装底板与防污板通过密封圈和螺栓螺母穿过连接孔连接在需冷却的镀膜箱体内。

与现有技术相比，本实用新型有如下优点：

1、本实用新型采用了镶嵌式夹层结构，盘式走线设计的冷却水管镶嵌在冷却水管安装底板的槽上，增大了冷却水管与冷却水管安装底板的接触面积，结构精巧紧凑，达到快速导热的功能，提高冷却效果，使得真空镀膜基板温度的冷却效率加快，从而减少生产节拍时间，节约整体设备能耗。