[实用新型]一种紫外激光器腔体防老化处理装置有效
申请号: | 202020618338.4 | 申请日: | 2020-04-23 |
公开(公告)号: | CN211579180U | 公开(公告)日: | 2020-09-25 |
发明(设计)人: | 杨飞;李晨 | 申请(专利权)人: | 清研(固安)光电装备科技有限公司 |
主分类号: | H01S3/02 | 分类号: | H01S3/02;H01S3/08 |
代理公司: | 东莞领航汇专利代理事务所(普通合伙) 44645 | 代理人: | 曾祥辉 |
地址: | 065500 河北省廊坊市固安县新兴*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 紫外 激光器 腔体防 老化 处理 装置 | ||
1.一种紫外激光器腔体防老化处理装置,包括激光器壳体(1),所述激光器壳体(1)的内腔卡接有第一密封盖(4),其特征在于:所述激光器壳体(1)的顶部卡接有第二密封盖(5),所述激光器壳体(1)的顶部且位于第二密封盖(5)的右方卡接有第三密封盖(6),所述激光器壳体(1)的背面连通有一号气管(7),所述一号气管(7)的外表面固定连接有一号气阀(8),所述一号气管(7)的右端固定连接有负压泵(9),所述激光器壳体(1)的背面且位于一号气管(7)的左方连通有二号气管(10),所述二号气管(10)的外表面固定连接有二号气阀(11),所述二号气管(10)的右端固定连接有输气泵(12),所述激光器壳体(1)的顶部且位于第一密封盖(4)的下方固定连接有一号谐振密封胶圈(13),所述激光器壳体(1)的顶部且位于第二密封盖(5)的下方固定连接有紫外腔密封胶圈(14)。
2.根据权利要求1所述的一种紫外激光器腔体防老化处理装置,其特征在于:所述激光器壳体(1)的内腔且位于第二密封盖(5)的下方开设有紫外腔(2),所述激光器壳体(1)的内腔且位于第三密封盖(6)的下方开设有一号谐振腔(3)。
3.根据权利要求2所述的一种紫外激光器腔体防老化处理装置,其特征在于:所述激光器壳体(1)的内腔且位于第一密封盖(4)的下方开设有二号谐振腔(17),所述一号谐振腔(3)与二号谐振腔(17)连通。
4.根据权利要求3所述的一种紫外激光器腔体防老化处理装置,其特征在于:所述激光器壳体(1)的顶部且位于第三密封盖(6)的下方固定连接有二号谐振密封胶圈(15),所述二号谐振腔(17)内壁的背面固定连接有输气内箱(16)。
5.根据权利要求4所述的一种紫外激光器腔体防老化处理装置,其特征在于:所述第一密封盖(4)、第二密封盖(5)和第三密封盖(6)的底部均固定连接有底部密封胶圈(18),所述输气内箱(16)的内腔滑动连接有石灰层滑板(19)。
6.根据权利要求5所述的一种紫外激光器腔体防老化处理装置,其特征在于:所述石灰层滑板(19)的顶部固定连接有滑动顶块(20),所述滑动顶块(20)的底部与输气内箱(16)的顶部滑动连接。
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