[实用新型]一种紫外激光器腔体防老化处理装置

说明书

本实用新型公开了一种紫外激光器腔体防老化处理装置，包括激光器壳体，所述激光器壳体的顶部且位于第一密封盖的下方固定连接有一号谐振密封胶圈，激光器壳体的顶部且位于第二密封盖的下方固定连接有紫外腔密封胶圈，激光器壳体的顶部且位于第三密封盖的下方固定连接有二号谐振密封胶圈，本实用新型涉及激光器技术领域。该紫外激光器腔体防老化处理装置,通过一号谐振密封胶圈、二号谐振密封胶圈、紫外腔密封胶圈和底部密封胶圈的设置，使得一号谐振密封胶圈、二号谐振密封胶圈和紫外腔密封胶圈分别通过配合第一密封盖、第二密封盖和第三密封盖的底部密封胶圈对激光器壳体进行顶部密封，极大的提高了激光器壳体的整体密封性。

技术领域

本实用新型涉及激光器技术领域，具体是一种紫外激光器腔体防老化处理装置。

背景技术

紫外激光波长短，聚焦光斑小，光子能量大，在材料加工过程中直接破坏许多非金属材料的分子键而实现“冷”加工，材料边缘光滑，炭化小。紫外激光器具有光束质量好、效率高、功率稳定性好、可靠性高、使用方便、体积小等诸多优点，在精密材料加工、光刻、光谱分析、医疗和科研等领域有着广泛的应用。

紫外激光都是通过将波长1064nm的基频红外激光进行腔内或腔外二倍频，然后部分基频光与二倍频产生的532nm绿光进行相应方式三倍频（即和频）实现的。二倍频与三倍频都是激光在光学晶体中进行的非线性转换过程。

现有的紫外激光器的壳体一般是采用的铝壳，因为铝壳的热传导、延展性比较好，但是同时有一个缺点，因为紫外光是具有强腐蚀性的，所以要求在放置紫外光源的腔体内，具有很好的密封性，否则该铝盒放置紫外光源腔体的地方会氧化变黑，并且一些金属离子会附着在紫外激光器的镜头上污染镜头，但是由于在该腔体内要安装紫外激光器的镜头、光路等等，还是会跑进一部分的控制，会导致腔体内不能达到百分之百的密封，所以需要设计一种装置保证紫外激光器工作时要降低紫外光源腔体的氧气含量，防止氧化，当激光器壳体内腔长期处于负压状态时，激光器壳体内腔容易因负压造成腔体形变，但激光器壳体内部空气必须保持干燥，以免湿气对激光器壳体的内腔造成老化。

实用新型内容

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种紫外激光器腔体防老化处理装置，解决了现有的紫外激光器密封性较差，抗氧化能力弱，激光器壳体内部空气缺乏干燥性的问题。

为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案予以实现：一种紫外激光器腔体防老化处理装置，包括激光器壳体，所述激光器壳体的内腔卡接有第一密封盖，所述激光器壳体的顶部卡接有第二密封盖，所述激光器壳体的顶部且位于第二密封盖的右方卡接有第三密封盖，所述激光器壳体的背面连通有一号气管，所述一号气管的外表面固定连接有一号气阀，所述一号气管的右端固定连接有负压泵，所述激光器壳体的背面且位于一号气管的左方连通有二号气管，所述二号气管的外表面固定连接有二号气阀，所述二号气管的右端固定连接有输气泵，所述激光器壳体的顶部且位于第一密封盖的下方固定连接有一号谐振密封胶圈，所述激光器壳体的顶部且位于第二密封盖的下方固定连接有紫外腔密封胶圈。

优选的，所述激光器壳体的内腔且位于第二密封盖的下方开设有紫外腔，所述激光器壳体的内腔且位于第三密封盖的下方开设有一号谐振腔。

优选的，所述激光器壳体的内腔且位于第一密封盖的下方开设有二号谐振腔，所述一号谐振腔与二号谐振腔连通。

优选的，所述激光器壳体的顶部且位于第三密封盖的下方固定连接有二号谐振密封胶圈，所述二号谐振腔内壁的背面固定连接有输气内箱。

优选的，所述第一密封盖、第二密封盖和第三密封盖的底部均固定连接有底部密封胶圈，所述输气内箱的内腔滑动连接有石灰层滑板。

优选的，所述石灰层滑板的顶部固定连接有滑动顶块，所述滑动顶块的底部与输气内箱的顶部滑动连接。

有益效果