[实用新型]一种碳化硅晶片外观检测用夹持照明装置

权利要求书

1.一种碳化硅晶片外观检测用夹持照明装置，其特征在于，包括：

安装架；

支撑架，所述支撑架用于支撑待检测晶片的侧边缘；

强光灯，所述强光灯安装在所述安装架上，位于所述支撑架的上方，所述强光灯的光柱能够覆盖整个位于所述支撑架上的待检测晶片。

2.根据权利要求1所述的碳化硅晶片外观检测用夹持照明装置，其特征在于，所述支撑架为三角检测支架，所述三角检测支架与所述待检测晶片的侧边缘点接触；

和/或

所述支撑架为防静电材质制成。

3.根据权利要求1所述的碳化硅晶片外观检测用夹持照明装置，其特征在于，还包括稳定座；

所述支撑架安装在所述稳定座上，所述稳定座用于支撑所述支撑架。

4.根据权利要求3所述的碳化硅晶片外观检测用夹持照明装置，其特征在于，还包括升降部；

所述升降部安装在所述稳定座上，且所述升降部的升降端与所述支撑架连接。

5.根据权利要求1所述的碳化硅晶片外观检测用夹持照明装置，其特征在于，还包括旋转驱动组件；

所述旋转驱动组件安装在所述安装架上，所述强光灯安装在所述旋转驱动组件的旋转端，所述旋转驱动组件用于驱动所述强光灯绕着所述待检测晶片转动。

6.根据权利要求5所述的碳化硅晶片外观检测用夹持照明装置，其特征在于，所述旋转驱动组件包括电机、第一齿轮和第二齿轮；

所述电机安装在所述安装架上；

所述第一齿轮与所述电机的输出轴传动连接；

所述第二齿轮与所述第一齿轮外啮合传动；

所述强光灯安装在所述第二齿轮上。

7.根据权利要求6所述的碳化硅晶片外观检测用夹持照明装置，其特征在于，所述旋转驱动组件还包括环形滑轨和滑块；

所述强光灯安装在所述第二齿轮的支臂的一端，所述滑块安装在所述支臂的另一端；

所述环形滑轨安装在所述安装架上，且所述滑块能够沿着所述环形滑轨滑动。

8.根据权利要求7所述的碳化硅晶片外观检测用夹持照明装置，其特征在于，所述强光灯与所述支臂通过支臂旋转杆可转动连接；

所述支臂旋转杆的端部设置有旋钮。

9.根据权利要求1-8中任意一项所述的碳化硅晶片外观检测用夹持照明装置，其特征在于，所述安装架包括底座、支撑柱和固定架；

所述支撑柱安装在所述底座上，所述固定架安装在所述支撑柱上，所述强光灯安装在所述固定架上。

10.根据权利要求9所述的碳化硅晶片外观检测用夹持照明装置，其特征在于，所述安装架还包括防脱套；

所述防脱套安装在所述固定架与支撑柱的连接处，用于防止所述固定架从所述支撑柱滑脱。