[实用新型]一种碳化硅晶片外观检测用夹持照明装置

说明书

本实用新型提供了一种碳化硅晶片外观检测用夹持照明装置，包括：安装架；支撑架，支撑架用于支撑待检测晶片的侧边缘；强光灯，强光灯安装在安装架上，位于支撑架的上方，强光灯的光柱能够覆盖整个位于支撑架上的待检测晶片。由于本实用新型提供的碳化硅晶片外观检测用夹持照明装置通过支撑架支撑待检测晶片的侧边缘，一方面避免了通过镊子长时间夹持晶片导致的晶片崩裂，降低了检测人员的要求，另一方面，避免与晶片的硅面及碳面接触，进而避免了磨损晶片硅面和碳面。此外，强光灯的光柱能够覆盖整个晶片，降低了晶片漏检的概率。即本实用新型避免检测晶片过程中对晶片磨损，降低了晶片漏检的概率。

技术领域

本实用新型涉及碳化硅晶片检测技术领域，特别是涉及一种碳化硅晶片外观检测用夹持照明装置。

背景技术

在半导体行业中，碳化硅晶片在加工过程中或发货前，需要对碳化硅晶片进行外观检测。

一般先在强光灯下检测晶片是否存在崩边、裂纹、划伤等表面缺陷以及包裹、多型等内部缺陷。目前，通常是将强光灯固定在支架上，检测人员夹住晶片边缘，使强光灯光柱投射在晶片表面，目视检查是否有表面及内部缺陷，然后通过手腕控制晶片转动，逐渐检查整个表面及内部。整个过程中，晶片的转动只能依靠人手的移动，检测位置盲目无序，很难全面检测晶片，经常出现漏检现象；其次，待测晶片是一面硅面、一面碳面的双面抛光片，长时间用镊子夹持晶片会增加正反两面的磨损，且晶片较脆，力气过大易造成晶片崩裂，力气过小又易使晶片掉落。整个外观检测过程对检测人员的要求较高，费时费力。

因此，如何降低晶片漏检的概率，避免检测晶片过程中对晶片磨损成为了本领域亟待解决的技术问题。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型的目的是提供一种碳化硅晶片外观检测用夹持照明装置，以降低晶片漏检的概率，避免检测晶片过程中对晶片磨损。

为了达到上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种碳化硅晶片外观检测用夹持照明装置，包括：

安装架；

支撑架，所述支撑架用于支撑待检测晶片的侧边缘；

强光灯，所述强光灯安装在所述安装架上，位于所述支撑架的上方，所述强光灯的光柱能够覆盖整个位于所述支撑架上的待检测晶片。

在一个具体实施方案中，所述支撑架为三角检测支架，所述三角检测支架与所述待检测晶片的侧边缘点接触；

和/或

所述支撑架为防静电材质制成。

在另一个具体实施方案中，所述碳化硅晶片外观检测用夹持照明装置还包括稳定座；

所述支撑架安装在所述稳定座上，所述稳定座用于支撑所述支撑架。

在另一个具体实施方案中，所述碳化硅晶片外观检测用夹持照明装置还包括升降部；

所述升降部安装在所述稳定座上，且所述升降部的升降端与所述支撑架连接。

在另一个具体实施方案中，所述碳化硅晶片外观检测用夹持照明装置还包括旋转驱动组件；

所述旋转驱动组件安装在所述安装架上，所述强光灯安装在所述旋转驱动组件的旋转端，所述旋转驱动组件用于驱动所述强光灯绕着所述待检测晶片转动。

在另一个具体实施方案中，所述旋转驱动组件包括电机、第一齿轮和第二齿轮；

所述电机安装在所述安装架上；

所述第一齿轮与所述电机的输出轴传动连接；

所述第二齿轮与所述第一齿轮外啮合传动；

所述强光灯安装在所述第二齿轮上。