[实用新型]一种用于半导体测试的晶片作表面清理装置有效

专利信息
申请号: 202020624465.5 申请日: 2020-04-23
公开(公告)号: CN212883677U 公开(公告)日: 2021-04-06
发明(设计)人: 曹镭 申请(专利权)人: 浙江金连接科技有限公司
主分类号: B08B1/02 分类号: B08B1/02;B08B3/02;B08B13/00;H01L21/67
代理公司: 嘉兴启帆专利代理事务所(普通合伙) 33253 代理人: 张淼
地址: 314000 浙江省嘉兴市经济*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 一种 用于 半导体 测试 晶片 表面 清理 装置
【权利要求书】:

1.一种用于半导体测试的晶片作表面清理装置,包括工作台(1),其特征在于,所述工作台(1)底部两侧均固定连接有支撑板(2),所述工作台(1)顶部两侧均固定连接有挡板(3),所述工作台(1)顶部于两个挡板(3)之间放置有过滤网(4),两个所述挡板(3)之间固定连接有横杆(5),所述横杆(5)外活动套设有套管(6),所述套管(6)顶部固定连接有蓄水箱(7),所述蓄水箱(7)两侧底部均固定连接有排水管(8),所述排水管(8)底部固定连接有喷淋管道(9),所述套管(6)底部固定连接有电动推杆(10),所述电动推杆(10)底部于两个喷淋管道(9)下方固定连接有毛刷板(11),所述毛刷板(11)底部设有刷毛(12),所述毛刷板(11)上开设有多个漏孔(13)。

2.根据权利要求1所述的一种用于半导体测试的晶片作表面清理装置,其特征在于,所述过滤网(4)顶部滑动连接有放置板(14),所述放置板(14)顶部两侧均对称铰接有卡扣(15),两个所述挡板(3)相向的一侧均固定连接有往复推杆(16),所述往复推杆(16)一端与放置板(14)固定连接。

3.根据权利要求1所述的一种用于半导体测试的晶片作表面清理装置,其特征在于,所述排水管(8)上安装有调节阀。

4.根据权利要求1所述的一种用于半导体测试的晶片作表面清理装置,其特征在于,两个所述支撑板(2)之间活动连接有集液屉。

5.根据权利要求1所述的一种用于半导体测试的晶片作表面清理装置,其特征在于,所述喷淋管道(9)底部设有多个喷水口。

6.根据权利要求2所述的一种用于半导体测试的晶片作表面清理装置,其特征在于,所述放置板(14)底部两侧均固定连接有滑块,所述工作台(1)上水平开设有与滑块相匹配的滑槽。

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