[实用新型]一种高纯氮气净化装置

权利要求书

1.一种高纯氮气净化装置，其特征在于，包括罐体（1），罐体（1）内安装有催化剂网（2），所述的罐体（1）的底端设置有气体进口（101），顶端设置有气体出口（102），所述的气体出口（102）通过管道与干燥器（3）连接，

所述的气体进口（101）与管道连接，管道上的支路管道（4）与氢气罐（5）连接，所述的支路管道（4）上设置有自动开关阀（6），自动开关阀（6）与在线控制装置（7）电连接；

所述的干燥器（3）的出口通过管道与液化分离器（8）连接，所述的液化分离器（8）上设置有进气口和出气口，所述的液化分离器（8）的出气口通过高纯氮气输出管道（9）将高纯氮气输出。

2.根据权利要求1所述的高纯氮气净化装置，其特征在于，所述的高纯氮气输出管道（9）上安装有自动开关阀（6），所述的自动开关阀（6）的上游设置有支管（10），支管（10）的另一端与液化分离器（8）的进气口连接。

3.根据权利要求2所述的高纯氮气净化装置，其特征在于，所述的液化分离器（8）的出气口上设置有氢气在线检测装置（11），所述的氢气在线检测装置（11）和自动开关阀（6）均与在线控制装置（7）电连接。

4.根据权利要求1所述的高纯氮气净化装置，其特征在于，所述的气体出口（102）通过管道与两个干燥器（3）连接，两个干燥器（3）并联，并且管路上均安装有自动开关阀（6），自动开关阀（6）与在线控制装置（7）电连接。

5.根据权利要求1所述的高纯氮气净化装置，其特征在于，所述的罐体（1）内平行安装有多个催化剂网（2），保证氢气与氧气充分反应。