[实用新型]一种高纯氮气净化装置

说明书

本实用新型涉及一种高纯氮气净化装置，包括罐体1，罐体1内安装有催化剂网2，罐体1的底端设置有气体进口101，顶端设置有气体出口102，气体出口101通过管道与干燥器3连接，气体进口101与管道连接，管道上的支路管道4与氢气罐5连接，支路管道4上设置有自动开关阀6，自动开关阀6与在线控制装置7电连接；干燥器3的出口通过管道与液化分离器8连接，液化分离器8上设置有进气口和出气口，液化分离器8的出气口通过高纯氮气输出管道9将高纯氮气输出。本实用新型中的采用催化氧化的方法对氮气中的少量氧气进行去除，同时又不引入其它杂质气体，达到净化氮气的目的。设置有在线检测装置，对不合格的氮气返回液化装置进行再处理。

技术领域

本实用新型涉及气体净化设备技术领域，具体涉及一种高纯氮气净化装置。

背景技术

在半导体工业过程中，经常需要氢气、氮气、惰性气体等作为辅料，并且需要这些气体具有超高纯度。目前，从高纯氮气的生产工艺中，不可避免的会带入氧气，导致氮气的纯度达不到超高标准，导致高纯试剂产品质量不合格。因此，亟需设计一种高纯氮气纯化装置来解决上述问题。

实用新型内容

为解决现有技术中存在的问题，本实用新型提供了一种高纯氮气净化装置，具体的技术方案如下所述：

一种高纯氮气净化装置，包括罐体（1），罐体（1）内安装有催化剂网（2），所述的罐体（1）的底端设置有气体进口（101），顶端设置有气体出口（102），所述的气体出口（102）通过管道与干燥器（3）连接，

所述的气体进口（101）与管道连接，管道上的支路管道（4）与氢气罐（5）连接，所述的支路管道（4）上设置有自动开关阀（6），自动开关阀（6）与在线控制装置（7）电连接；

所述的干燥器（3）的出口通过管道与液化分离器（8）连接，所述的液化分离器（8）上设置有进气口和出气口，所述的液化分离器（8）的出气口通过高纯氮气输出管道（9）将高纯氮气输出。设置有两个干燥器（3），根据实际应用，定时更换吸水物质，保证将氮气中的水汽出去。当更换其中一个干燥器（3）中的吸水物质时，自动开启另一个干燥器（3），保证整个装置的正常运转。

进一步地，所述的高纯氮气输出管道（9）上安装有自动开关阀（6），所述的自动开关阀（6）的上游设置有支管（10），支管（10）的另一端与液化分离器（8）的进气口连接。

进一步地，所述的液化分离器（8）的出气口上设置有氢气在线检测装置（11），所述的氢气在线检测装置（11）和自动开关阀（6）均与在线控制装置（7）电连接。

进一步地，所述的气体出口（102）通过管道与两个干燥器（3）连接，两个干燥器（3）并联，并且管路上均安装有自动开关阀（6），自动开关阀（6）与在线控制装置（7）电连接。

进一步地，所述的罐体（1）内平行安装有多个催化剂网（2），保证氢气与氧气充分反应。

本实用新型的有益效果为：本实用新型中的高纯氮气净化装置中设置有多层催化剂网层，并设置有两个干燥器，充分的保证能将氮气中的氧气出去，并不引入水汽。对引入的氢气才有低压液化分离的方法，得到高纯氮气的同时回收了氢气，回收的氢气可以继续使用。本实用新型中的采用催化氧化的方法对氮气中的少量氧气进行去除，同时又不引入其它杂质气体，达到净化氮气的目的。设置有在线检测装置，对不合格的氮气返回液化装置进行再处理。因此，本实用新型具有结构设计合理、得到的氮气纯度高等优点，适于广泛推广使用。

附图说明

图1为本实用新型实施例的一种高纯氮气净化装置的结构示意图。

图2为本实用新型实施例的一种高纯氮气净化装置的控制流程框图。