[实用新型]位置灵敏探测器以及掩膜版对准系统

权利要求书

1.一种位置灵敏探测器，其特征在于，包括：

光敏器件层，用于接收第一波长光，并转换成电信号；

光转换结构，所述光转换结构包括透明基板和第一光转换层；

所述透明基板位于所述光敏器件层之上；

所述第一光转换层位于所述透明基板远离所述光敏器件层一侧的表面，所述第一光转换层设置有横向间隔分布的反光区和光转换透光区，所述光转换透光区用于将照射到所述第一光转换层上的第二波长光进行散射，并转换为所述第一波长光，其中，所述第二波长光的波长大于所述第一波长光的波长；

所述透明基板远离所述第一光转换层一侧的表面为非球面。

2.根据权利要求1所述的位置灵敏探测器，其特征在于，所述透明基板远离所述第一光转换层一侧的表面为平面。

3.根据权利要求1所述的位置灵敏探测器，其特征在于，所述光转换结构还包括第二光转换层，位于所述第一光转换层和所述透明基板之间，用于将所述第二波长光进行散射，并转换为所述第一波长光。

4.根据权利要求3所述的位置灵敏探测器，其特征在于，所述第一光转换层在所述透明基板上的正投影位于所述第二光转换层在所述透明基板上的正投影内。

5.根据权利要求1所述的位置灵敏探测器，其特征在于，所述光敏器件层设置有光电二极管，用于将所述第一波长光转换为电信号。

6.根据权利要求1所述位置灵敏探测器，其特征在于，所述光转换结构还包括空气层，设置在所述透明基板与所述光敏器件层之间。

7.根据权利要求6所述的位置灵敏探测器，其特征在于，所述光转换结构还包括封装外壳，位于所述光敏器件层的非感光区，且包围所述透明基板以及第一光转换层的侧面。

8.根据权利要求7所述的位置灵敏探测器，其特征在于，所述封装外壳位于所述透明基板的侧面与所述光敏器件层的侧面之间的部分设置有反射层。

9.根据权利要求7所述位置灵敏探测器，其特征在于，所述位置灵敏探测器还包括粘结层，位于所述封装外壳和所述光敏器件层的非感光区之间，用于固定所述封装外壳和所述光敏器件层。

10.一种掩膜版对准系统，其特征在于，包括：

照明部件，发出对准光束；

掩膜版，所述掩膜版的两侧设置有透光对准标记，所述透光对准标记位于所述对准光束的正下方；

位置灵敏探测器，位于所述对准标记的正下方，所述位置灵敏探测器如权利要求1-9任一所述的位置灵敏探测器，用于将透过所述透光对准标记的所述对准光束转换为电信号；

信号处理系统，与所述位置灵敏探测器的输出端电连接，基于所述电信号，确定所述掩膜版的位置信息。