[实用新型]一种导流器及等离子化学气相沉积设备

权利要求书

1.一种导流器，与其上方结构件及下方结构件固定连接，用于将其上方结构件处的气体导流至其下方结构件上，其特征在于，包括边缘连接部和中部导流部，所述边缘连接部用于与所述上方结构件螺接，所述中部导流部对应所述上方结构件的气体沉积孔设置，所述中部导流部的下表面开设有紧固孔，所述紧固孔用于配合安装柱形紧固件，以将所述下方结构件固定在所述中部导流部的下方，所述紧固孔的内侧壁与所述中部导流部的周向的外侧壁之间的厚度均匀。

2.根据权利要求1所述的导流器，其特征在于，所述中部导流部的顶部设有导流结构。

3.根据权利要求2所述的导流器，其特征在于，所述导流结构为所述中部导流部的顶部向上凸起一体形成的导流面，所述导流面为锥形或半球形。

4.根据权利要求3所述的导流器，其特征在于，所述中部导流部的底面的外边缘的直径为23mm～27mm。

5.根据权利要求1所述的导流器，其特征在于，所述边缘连接部和所述中部导流部通过支撑杆连接，所述支撑杆的数量为多个，且沿所述边缘连接部的周向均匀分布。

6.根据权利要求5所述的导流器，其特征在于，所述边缘连接部包括多个螺接板和多个弧形的连接条，多个所述螺接板与多个所述连接条依次衔接形成环形，所述螺接板与所述上方结构件的下侧面螺接。

7.根据权利要求1所述的导流器，其特征在于，所述导流器由轻质金属制成。

8.根据权利要求1所述的导流器，其特征在于，所述导流器的外表面设有防腐层；

或；

所述导流器由氧化铝或陶瓷制成。

9.根据权利要求6所述的导流器，其特征在于，每个所述支撑杆对应一个所述连接条，且所述支撑杆的一端与所述边缘连接部连接，另一端与所述连接条连接。

10.一种等离子化学气相沉积设备，包括背板、分布器，其特征在于，还包括权利1～9任一项所述的导流器，所述导流器的边缘连接部与所述背板螺接，所述分布器通过柱形紧固件固定于所述导流器的中部导流部的下方。