[实用新型]一种导流器及等离子化学气相沉积设备

说明书

本实用新型公开了一种导流器及等离子化学气相沉积设备，涉及等离子化学气相沉积技术领域，以减少导流器的边缘连接部与其对应的螺钉震动摩擦产生的异物量，降低产品的不良率。该导流器与其上方结构件及下方结构件固定连接，用于将其上方结构件处的气体导流至其下方结构件上，包括边缘连接部和中部导流部，边缘连接部用于与上方结构件螺接，中部导流部对应上方结构件的气体沉积孔设置，中部导流部的下表面开设有紧固孔，紧固孔用于配合安装柱形紧固件，以将下方结构件固定在中部导流部的下方，紧固孔的内侧壁与中部导流部的周向的外侧壁之间的厚度均匀。本实用新型可用于等离子化学气相沉积镀膜。

技术领域

本实用新型涉及等离子化学气相沉积技术领域，尤其涉及一种导流器及等离子化学气相沉积设备。

背景技术

柔性屏是可弯曲的显示屏，相较于传统的显示屏，柔性屏幕优势明显，不仅在体积上更加轻薄，功耗上也低于传统的显示屏，有助于提升设备的续航能力；同时基于柔性屏可弯曲的特性，其耐用程度也大大高于传统的显示屏。其中，柔性屏对异物有很高的敏感度，生产过程需严格控制异物颗粒。在柔性屏的制造过程中，柔性屏的无机膜层通常采用等离子化学气相沉积(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition，PECVD)的方法镀膜。

目前，为了在整个基板上得到均匀的无机膜，需要采用导流器使气流分散均匀。参照图1、图2和图3，背板01上设有气体沉积孔02，气体沉积孔02的上方连接气管，下方设有导流器03，导流器03包括环形的边缘连接部031和锥形的中部导流部032，边缘连接部031通过螺钉与背板01固定连接；导流器03下方设有布气盘04，布气盘04螺接在中部导流部032的下表面。

然而，由于重力和气流作用力的影响，上述导流器在使用的过程中，边缘连接部与其对应的螺钉之间会震动摩擦，产生大量颗粒异物，大量的异物会掺杂到无机膜层(参照图4)，从而造成柔性屏局部产生亮点或暗点的不良。

实用新型内容

本实用新型实施例提供一种导流器及等离子化学气相沉积设备，以减少导流器的边缘连接部与其对应的螺钉震动摩擦产生的异物量，降低产品的不良率。

为达到上述目的，一方面，本实用新型实施例提供了一种导流器，与其上方结构件及下方结构件固定连接，用于将其上方结构件处的气体导流至其下方结构件上，包括边缘连接部和中部导流部，边缘连接部用于与上方结构件螺接，中部导流部对应上方结构件的气体沉积孔设置，中部导流部的下表面开设有紧固孔，紧固孔用于配合安装柱形紧固件，以将下方结构件固定在中部导流部的下方，紧固孔的内侧壁与中部导流部的周向的外侧壁之间的厚度均匀。

进一步地，中部导流部的顶部设有导流结构。

进一步地，导流结构为中部导流部的顶部向上凸起一体形成的导流面，导流面为锥形或半球形。

更进一步地，中部导流部的底面的直径为23mm～27mm。

进一步地，边缘连接部和中部导流部通过支撑杆连接，支撑杆的数量为多个，且沿边缘连接部的周向均匀分布。

更进一步地，边缘连接部包括多个螺接板和多个弧形的连接条，多个螺接板与多个连接条依次衔接形成环形，螺接板与上方结构件的下侧面螺接。

进一步地，导流器由轻质金属制成。

进一步地，导流器的外表面设有防腐层；或；导流器由氧化铝或陶瓷制成。

进一步地，每个支撑杆对应一个连接条，且支撑杆的一端与边缘连接部连接，另一端与连接条连接。

另一方面，本实用新型实施例还提供了一种等离子化学气相沉积设备，包括背板、分布器，还包括上述导流器，导流器的边缘连接部与背板螺接，分布器通过柱形紧固件固定于导流器的中部导流部的下方。