[实用新型]并联双管路抽气系统

权利要求书

1.并联双管路抽气系统，其特征在于：包括真空室（1）和主管路（2），所述主管路（2）与真空室（1）连接，在主管路（2）上设置并联支路（3），所述主管路（2）上安装有蜗轮阀（4），所述并联支路（3）上安装挡板阀（5），所述主管路（2）再连接串联管道（6），所述主管路（2）与串联管道（6）之间安装罗茨泵（7），所述串联管道（6）末端连接旋片泵（8）。

2.根据权利要求1所述的并联双管路抽气系统，其特征在于：所述旋片泵（8）通过电机（9）带动工作，所述旋片泵（8）上开有排气口（10）。

3.根据权利要求1所述的并联双管路抽气系统，其特征在于：所述真空室（1）内左右两侧分别设置有左侧加热器（11）和右侧加热器（12），所述真空室（1）内固定有上托盘（13）和下托盘（14），所述上托盘（13）的底部设置有上加热管（15），所述下托盘（14）的底部设置有下加热管（16），所述真空室（1）的顶部居中位置设置有顶部加热管（17），所述真空室（1）内侧壁靠近上托盘（13）和下托盘（14）两侧设置有侧导轨（18），所述上托盘（13）和下托盘（14）的底部安装有车轮（19），所述车轮（19）在侧导轨（18）上滑动。

4.根据权利要求1所述的并联双管路抽气系统，其特征在于：所述真空室（1）的形状为矩形。